Ջերմային գազի զանգվածային հոսքի կարգավորիչ (MFC)
Այնrmջրիմուռներmէշfցածրmeter(MFM)իսաkարդoֆակուրաtemeասուremէնտոֆgasflow,the meասուredvaluesarenօտկոնtrolledbyfluctuatioնսինժամանակպերաtուրեորպրessպետք չէtհեքompensationoftemperatureandpressure.
| Մոդել | SQC-100 |
| Հոսքի միջակայքերը (N2) | 0, 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500 SCCM |
| 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 SLM | |
| Ճշգրտություն | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| Փականի շարժիչի տեսակը | Սովորական Փակ |
| Գծայինություն | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| Կրկնելիություն | ±0.2% FS |
| Արձագանքման ժամանակը | ≤1 վրկ |
| Մուտքային/ելքային ազդանշան | 0~5 Վ |
| Էլեկտրական միացում | DB15 քորոց (ասեղ) |
| Operation Tem. | 5~45℃ |
| Դիֆերենցիալ նախ. | 0.05-0.5 ՄՊա (MFC)); 0.03-3.0 ՄՊա (MFM) |
| Արտահոսքի մակարդակը | 1×10-8SCCS (Նա) |
| Մաքս.Ճնշում | 3 ՄՊա |
| Միջին նյութ | 316L SS և կնքման նյութ |
| Կնքման նյութ | Վիտոն, սիլիկոնե ռետին, NBR, տեֆլոն, մետաղական կնիք: |
| Համատեղի չափ | VCR 1/4"; Swagelok 1/8", 1/4"; φ3, φ6 մմ |
| Էլեկտրամատակարարում | +15V,50mA；-15V,200mA |
| Մոդել | SQC-200 |
| Հոսքի միջակայքերը (N2) | MFC: 0-20, 30, 50, 100, 150, 200 SLM |
| MFM: 0-20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300 SLM | |
| Ճշգրտություն | ± 2% FS |
| Փականի շարժիչի տեսակը | Սովորական Փակ |
| Գծայինություն | ± 2% FS |
| Կրկնելիություն | ±0.2% FS |
| Արձագանքման ժամանակը | ≤5 վրկ |
| Մուտքային/ելքային ազդանշան | 1～5V；4～20mA |
| Էլեկտրական միացում | DB15 քորոց (ասեղ) |
| Operation Tem. | 5~45℃ |
| Դիֆերենցիալ նախ. | 0,1-0,3 ՄՊա (MFC); 0,05-3,0 ՄՊա (MFM) |
| Արտահոսքի մակարդակը | 1×10-8SCCS (Նա) |
| Մաքս.Ճնշում | 3 ՄՊա |
| Միջին նյութ | 316L SS և կնքման նյութ |
| Կնքման նյութ | Վիտոն, սիլիկոնե ռետին, NBR, ERP, տեֆլոն |
| Համատեղի չափ | Swagelok 3/8" 、1/2" ； φ8 、φ10 、φ12 մմ |
| Էլեկտրամատակարարում | 24V,0.5A |
Գրեք ձեր հաղորդագրությունը այստեղ և ուղարկեք այն մեզ
