Pompa turbomolecolare serie EV
Dimensioni del profilo e attacchi di montaggio delle pompe turbomolecolari
La curva di velocità della pompa turbomolecolare
pompare azoto e idrogeno
La curva di velocità del turbomolecolare
pompa nell'atmosfera
Dati tecnici dell'EV-3600
| Flangia di ingresso (mm) | 400ISO-K | |
| Flangia di uscita (mm) | 100ISO-K | |
| Tasso di pompaggio (L/S) | 3600 | |
| Rapporto di compressione | N2 | >108 |
| H2 | >5X102 | |
| Pressione finale (Pa) | <2X10-6 | |
| Velocità nominale (rpm) | 13500 | |
| Vibrazione | ≤0,15μm | |
| Orario di inizio (minuti) | <11 | |
| Tempo di arresto (minuti) | <20 | |
| Pompa rotativa consigliata | 30-70 litri/s | |
| Metodo di raffreddamento | Raffreddamento ad acqua | |
| Temperatura del raffreddamento ad acqua (℃) | ≤25 | |
| Il flusso di raffreddamento ad acqua (l/min) | 2 | |
| Temperatura di cottura del corpo pompa | <120℃ | |
| Modalità di installazione | Verticale ±5° | |
| Peso (kg) | ≈100 | |
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