Regolatore del flusso di massa del gas termico (MFC)
ILrmalghemculofBassometer(MFM)iskindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenottcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpresscerto, non ce n'è bisognoteccompensationoftempratureandpressure.
| Modello | SQC-100 |
| Intervalli di flusso (N2) | 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
| 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| Precisione | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
| Tipo di azionamento della valvola | Normale chiuso |
| Linearità | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
| Ripetibilità | ±0,2%FS |
| Tempo di risposta | ≤1sec |
| Segnale di ingresso/uscita | 0~5V |
| Giunto elettrico | Perno DB15 (ago) |
| Tem. operazione | 5~45℃ |
| Differenziale Pre. | 0,05~0,5MPa (MFC); 0,03~3,0MPa (MFM) |
| Tasso di perdita | 1×10-8SCCS (Lui) |
| Massimo.Pressione | 3MPa |
| Materiale medio | Acciaio inox 316L e materiale sigillante |
| Materiale sigillante | Viton, Gomma siliconica, NBR, Teflon, Guarnizione metallica. |
| Dimensione congiunta | Videoregistratore 1/4";Swagelok 1/8" 、1/4";φ3、 φ6mm |
| Alimentazione elettrica | +15V,50mA;-15V,200mA |
| Modello | SQC-200 |
| Intervalli di flusso (N2) | MFC: 0~20,30,50,100,150, 200SLM |
| MFM: 0~20,30,50,100,150,200,250,300SLM | |
| Precisione | ±2%FS |
| Tipo di azionamento della valvola | Normale chiuso |
| Linearità | ±2%FS |
| Ripetibilità | ±0,2%FS |
| Tempo di risposta | ≤5 secondi |
| Segnale di ingresso/uscita | 1~5V;4~20mA |
| Giunto elettrico | Perno DB15 (ago) |
| Tem. operazione | 5~45℃ |
| Differenziale Pre. | 0,1~0,3MPa(MFC); 0,05~3,0MPa (MFM) |
| Tasso di perdita | 1×10-8SCCS (Lui) |
| Massimo.Pressione | 3MPa |
| Materiale medio | Acciaio inox 316L e materiale sigillante |
| Materiale sigillante | Viton, Gomma siliconica, NBR, ERP, Teflon |
| Dimensione congiunta | Swagelok 3/8" 、1/2"; φ8、φ10、φ12mm |
| Alimentazione elettrica | 24 V, 0,5 A |
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