CF ベーク可能オールメタル アングル バルブ

簡単な説明：

ベーク可能なオールメタルバルブはポペットバルブの一種です。オールメタルバルブアングル＆Yインラインバルブとミニタイプオールメタルバルブの3種類があります。ポペットがバルブの上部に向かって移動すると、体内の空洞がシステムに対して開き、流れが妨げられなくなります (コンダクタンスが最大になります)。アクチュエータがポペットをバルブの底部に移動すると、銅製のガスケット シール リングがバルブの下部本体のシール面に押し付けられます。この動作により真空気密シールが形成され、流れが止まります。この焼成可能な全金属製バルブは、超高真空環境での使用や、高温によりエラストマーや低温ガスケット金属の使用が不可能な半導体製造、同期放射、真空薄膜技術などの用途向けに設計されています。ベントプロセスを備えた真空用途、ポンプシステム、半導体技術、研究システムなどの高真空用途に適した全シリーズのアングルバルブとインラインバルブを設計します。

■焼成温度：400℃（バルブ開）、300℃（バルブ閉）

■ シールガスケットはドライバーで簡単に交換でき、ノズルからガスケットの着脱が可能

■全体はステンレス製 ベローズシャフトと無酸素銅ガスケットで密閉

■標準サイズはCF16/CF35/CF63です。

■任意の角度で設置可能

タイプ：真空アングルバルブ、CF真空アングルバルブ

ブランド名：スーパーQ

応用：産業用真空分野、半導体技術・研究システム

モデル番号：CF ベーク可能オールメタル真空アングル バルブ

ポートサイズ:CF 16/35/63

材料：304ステンレス鋼

プレッシャー： <10^-10トル

作業温度：400℃以下