EVシリーズ複合分子ポンプ

モデル

EV-600

EV-600F

EV-1200

EV-1200F

EV-1600

EV-1600F

入口フランジ(mm)

150CF

160ISO-K

200CF

200ISO-K

250CF

250ISO-K

出口フランジ(mm)

40KF

40KF

50KF

排気速度(L/S)

600

1200

1600

圧縮率

N²

>10⁹

>10⁹

>10⁹

H²

>8X10³

>1X10⁴

>1X10⁴

到達真空度(Pa)

<8X10^-8

<5X10^-7

<8X10^-8

<5X10^-7

<8X10^-8

<5X10^-7

回転数(rpm)

24000

24000

24000

振動

≤0.1μm

≤0.1μm

≤0.15μm

立ち上がり時間(分)

<4.5

<5

<6

補助ポンプ

4-8L/S

8-15L/S

15L/S

冷却方法

水（空）冷却

水（空）冷却

水（空）冷却

冷却水温度(℃)

≤20

≤20

≤20

周囲温度（℃）

≤35

≤35

≤35

冷却水流量

1～2L/分

1～2L/分

1～2L/分

ベークアウト温度（℃）

<120

<120

<120

ヒーター電力（w）

<250

<300

<300

ヒーター入力電圧（v）

AC220

AC220

AC220

取り付け

垂直±5°

垂直±5°

垂直±5°

重量(kg)

≈25

≈29

≈31