EVシリーズターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプの外形寸法と取り付け接続
ターボ分子ポンプの速度曲線
窒素と水素のポンピング
ターボ分子の速度曲線
大気中にポンプで送り出す
EV-3600技術資料
| 入口フランジ(mm) | 400ISO-K | |
| 出口フランジ(mm) | 100ISO-K | |
| 排気量（L/S） | 3600 | |
| 圧縮率 | N2 | >108 |
| H2 | >5X102 | |
| 到達圧力（Pa） | <2X10-6 | |
| 定格回転数（rpm） | 13500 | |
| 振動 | ≤0.15μm | |
| 開始時間（分） | <11 | |
| 停止時間（分） | <20 | |
| 推奨ロータリーポンプ | 30-70L/S | |
| 冷却方法 | 水冷 | |
| 水冷温度(℃) | ≤25 | |
| 水冷流量（L/min） | 2 | |
| ポンプ本体のベーキング温度 | <120℃ | |
| インストールモード | 垂直±5° | |
| 重量（kg） | ≈100 | |
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