ODM工場中国半導体ターボ分子ポンプEV1600L/S
当社は、優れた製品の最高品質、競争力のあるコスト、ODM工場中国半導体ターボ分子ポンプEV1600L/Sに対する最高のサポートの見通しの中で、非常に素晴らしい地位にあることを嬉しく思います。当社の主な目的は、世界中の顧客に高品質を提供することです。競争力のあるコスト、満足のいく配達、そして優れたプロバイダー。
当社は、優れた製品の最高品質、競争力のあるコスト、および最高のサポートにより、将来の見込み客の中で非常に素晴らしい地位を獲得できたことを嬉しく思っています。中国ターボ分子ポンプ, 分子ポンプ, 私たちは長期的な努力と自己批判を維持し、それが私たちを助け、常に改善します。私たちは顧客のコストを節約するために顧客の効率を向上させるよう努めています。私たちは製品の品質を向上させるために最善を尽くします。私たちは時代の歴史的チャンスに応えられません。
ターボ分子ポンプの外形寸法と取り付け接続
ターボ分子ポンプの速度曲線
窒素と水素のポンピング
ターボ分子の速度曲線
大気中にポンプで送り出す
EV-3600技術資料
| 入口フランジ(mm) | 400ISO-K | |
| 出口フランジ(mm) | 100ISO-K | |
| 排気量（L/S） | 3600 | |
| 圧縮率 | N2 | >108 |
| H2 | >5X102 | |
| 到達圧力（Pa） | <2X10-6 | |
| 定格回転数（rpm） | 13500 | |
| 振動 | ≤0.15μm | |
| 開始時間（分） | <11 | |
| 停止時間（分） | <20 | |
| 推奨ロータリーポンプ | 30-70L/S | |
| 冷却方法 | 水冷 | |
| 水冷温度(℃) | ≤25 | |
| 水冷流量（L/min） | 2 | |
| ポンプ本体のベーキング温度 | <120℃ | |
| インストールモード | 垂直±5° | |
| 重量（kg） | ≈100 | |
当社は、優れた製品の最高品質、競争力のあるコスト、ODM工場中国半導体ターボ分子ポンプEV 1600L/Sの最高のサポートに対する当社の見通しの中で、非常に素晴らしい地位にあることをうれしく思っています。当社の主な目的は、世界中の顧客に高品質で製品を提供することです。 、競争力のあるコスト、満足のいく配達、そして優れたプロバイダー。
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