サーマルガスマスフローコントローラー (MFC)
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| モデル | SQC-100 |
| 流量範囲(N2) | 0～5、10、20、30、50、100、200、500SCCM |
| 0～1、2、3、5、10、15、20、30SLM | |
| 正確さ | ±1％FS(≦15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| バルブ駆動方式 | 通常閉 |
| 直線性 | ±1％FS(≦15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| 再現性 | ±0.2％FS |
| 反応時間 | ≤1秒 |
| 入出力信号 | 0～5V |
| 電気ジョイント | DB15ピン(針) |
| オペレーションテム。 | 5～45℃ |
| ディファレンシャルプレ。 | 0.05～0.5MPa（MFC）； 0.03～3.0MPa（MFM） |
| リーク率 | 1×10-8SCCS（ヘ） |
| 最大。プレッシャー | 3MPa |
| 中材 | 316L SSとシール材 |
| シール材 | バイトン、シリコーンゴム、NBR、テフロン、メタルシール。 |
| ジョイントサイズ | VCR 1/4”；Swagelok 1/8”、1/4”；φ3、 φ6mm |
| 電源 | +15V、50mA；-15V、200mA |
| モデル | SQC-200 |
| 流量範囲(N2) | MFC：0～20、30、50、100、150、200SLM |
| MFM：0～20、30、50、100、150、200、250、300SLM | |
| 正確さ | ±2％FS |
| バルブ駆動方式 | 通常閉 |
| 直線性 | ±2％FS |
| 再現性 | ±0.2％FS |
| 反応時間 | ≤5秒 |
| 入出力信号 | 1～5V；4～20mA |
| 電気ジョイント | DB15ピン(針) |
| オペレーションテム。 | 5～45℃ |
| ディファレンシャルプレ。 | 0.1～0.3MPa（MFC）； 0.05～3.0MPa（MFM） |
| リーク率 | 1×10-8SCCS（ヘ） |
| 最大。プレッシャー | 3MPa |
| 中材 | 316L SSとシール材 |
| シール材 | バイトン、シリコーンゴム、NBR、ERP、テフロン |
| ジョイントサイズ | Swagelok 3/8”、1/2”； φ8、φ10、φ12mm |
| 電源 | 24V、0.5A |
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