超高真空モーター駆動ゲートバルブ
EVCCDシリーズ超高真空電動ゲートバルブの技術仕様
| モデル | EVCCD-100B | EVCCD-160B | EVCCD-200B | EVCCD-250B | |
| 圧力範囲 | Pa | 1.3×10-7～1.2×105 | |||
| I内側呼び径 | mm | 100 | 150 | 200 | 250 |
| リーク率 | Pa·L/秒 | 1.3×10-7 | |||
| 開く方向の圧力が異なる | Pa | 3000(任意) | |||
| C接続フランジ | — | CF、ISO-K、GB-LP、ISO-F | |||
| S最初のメンテナンスまでの耐用年数 | 回 | 10000 | |||
| H食べる温度 (Vアルヴェボディ） | ℃ | C負けた≤120、開いた≤150 | |||
| S供給電圧 | V | 220±10% | |||
| O待機時間/終了時間 | s | ≤50代 | |||
| ポジションインジケーターのバルブ | — | マイクロスイッチ | |||
| I設置方向 | — | どれでも | |||
| A周囲温度 | ℃ | 5～40 | |||
技術パラメータ:
| 適用範囲 | 1x10^(-5)Pa～1.2x10^(5)Pa(バイトンOリングシール)1x10^(-6)Pa～1.2x10^(5)Pa(ベローズシール) |
| ゲートの差圧 | ≤3x10^(3)Pa 任意の方向 |
| ボディとシートの漏れ | 1.3x10^(-7)Pa.LS^(-1) |
| 最初のサービスまでのサイクル | 10万回 |
| ベークアウト温度 | 開放≦250℃;クローズ≦150℃ |
| 設置位置 | 任意の方向 |
| 圧縮空気（空圧バルブへの供給のみ） | DN63～200：0.4～0.7MPa、DN250～400：0.5～0.7MPa |
| 電源 | 空気圧バルブ：AC 220V 50HZ、6WまたはDC 24V、3W（カスタマイズ可能）AC 220V 50HZ、25WのDN63〜250またはAC 380V 50HZ、25WDN320〜400はAC 220V 50HZ、40WまたはAC 380V 50HZ、40Wです。 |
| 開閉の速度: | 空気圧ドライブ:DN63~DN250≤6s;DN320〜DN400≤10s電気ドライブ:DN63〜DN250≤50s;DN320~DN400≤60s |
| バルブ位置表示： | 手動駆動：始動・停止位置表示スイッチ付（メカニカルスイッチ） 空圧駆動：始動・停止位置表示スイッチ（マグネットスイッチ）付 電動式：始動・停止位置表示スイッチ（マイクロスイッチ）付 |
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