Pengontrol Aliran Massa (MFC) nyedhiyakake pangukuran sing tepat lan kontrol aliran massa gas.
I. Punapa punika prabédan antarane MFC lan MFM?
Mass flow meter (MFM) minangka jinis instrumen sing ngukur aliran gas kanthi akurat, lan nilai pangukurane ora akurat amarga fluktuasi suhu utawa tekanan, lan ora mbutuhake kompensasi suhu lan tekanan. Pengontrol aliran massa (MFC) ora mung. nduweni fungsi meter aliran massa, nanging sing luwih penting, bisa ngontrol aliran gas kanthi otomatis, yaiku, pangguna bisa nyetel aliran miturut kabutuhan, lan MFC kanthi otomatis njaga aliran konstan ing nilai sing disetel, sanajan tekanan sistem Fluktuasi utawa owah-owahan ing suhu sekitar ora bakal nyebabake nyimpang saka nilai sing disetel.Pengontrol aliran massa minangka piranti aliran ajeg, yaiku piranti aliran ajeg gas sing bisa disetel kanthi manual utawa dikontrol kanthi otomatis kanthi sambungan karo komputer.Meter aliran massa mung ngukur nanging ora ngontrol.Pengontrol aliran massa duwe katup kontrol, sing bisa ngukur lan ngontrol aliran gas.
II.Apa struktur lanprinsip operasi?
1. Struktur
2. Prinsip Operasi
Nalika aliran lumebu ing pipa intake, sebagian besar aliran liwat saluran diverter, bagean cilik sing mlebu ing tabung kapiler ing sensor.Amarga struktur khusus saka
saluran diverter, rong bagéan saka aliran gas bisa langsung ceceg.Sensor wis dipanasake lan digawe panas, lan suhu ing njero luwih dhuwur tinimbang suhu udara mlebu.Ing wektu iki, aliran massa bagean cilik saka gas diukur dening prinsip transfer panas dening tabung kapiler lan prinsip calorimetry beda suhu.Aliran gas sing diukur kanthi cara iki bisa nglirwakake efek suhu lan tekanan.Sinyal pangukuran aliran sing dideteksi dening sensor yaiku input menyang papan sirkuit lan digedhekake lan output, lan fungsi MFM wis rampung.Nambahake PID fungsi kontrol otomatis daur ulang kanggo papan sirkuit, Mbandhingaké sinyal pangukuran aliran diukur dening sensor karo sinyal pesawat diwenehi dening pangguna.Adhedhasar iki, katup kontrol dikontrol supaya sinyal deteksi aliran padha karo sinyal sing disetel, saéngga nyadari fungsi MFC.
III.Aplikasi lan fitur.
MFC, kang digunakake digunakake ing lapangan minangka: semikonduktor lan fabrikasi IC, ilmu bahan khusus, industri kimia, industri petrolic, industri pharmaceutical, nglindhungi lingkungan lan riset sistem vakum, etc.. Aplikasi khas kalebu: peralatan proses microelectronic kayata difusi , oksidasi, epitaksi, CVD, etsa plasma, sputtering, implantasi ion;peralatan deposisi vakum, leleh serat optik, peralatan mikro-reaksi, pencampuran & pencocokan sistem gas, sistem kontrol aliran kapiler, kromatografi gas lan instrumen analitik liyane.
MFC nggawa akurasi dhuwur, repeatability banget, respon cepet, alus-wiwitan, luwih linuwih, macem-macem kisaran saka tekanan operasi (operasi apik ing tekanan dhuwur lan kahanan vakum), operasi trep prasaja, instalasi fleksibel, bisa nyambungake karo PC kanggo nindakake otomatis. kontrol menyang sistem pangguna.
IV.Carane nemtokake lan menehi hasil karo fajur?
Perusahaan kita duwe insinyur sawise-sale profesional, bisa mbantu ngatasi masalah ing instalasi lan panggunaan.
Wektu kirim: Jul-29-2022