Pengawal Aliran Jisim gas terma (MFC)

Penerangan Ringkas:

Pengawal aliran jisim gas terma (MFC) bukan sahaja mempunyai fungsi meter aliran jisim, tetapi juga lebih penting ia boleh mengawal aliran gas secara automatik yang bermaksud pengguna boleh menetapkan aliran sebagai permintaan.MFC akan membetulkan aliran pada nilai yang ditetapkan secara automatik.Nilai yang ditetapkan tidak akan terpesong walaupun tekanan sistem turun naik atau suhu sekeliling berubah.Ringkasnya, pengawal aliran jisim adalah peranti stabil aliran, adalah peranti stabil aliran gas boleh diprogramkan secara manual atau dikawal oleh komputer secara automatik.

Hantar e-mel kepada kami

Butiran Produk

Tag Produk

Thermalgasmkeldaifrendahmeter(MFM)isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluasarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressure, tidak perluthecompensationoftemperatureandpressure.

Model	SQC-100
Julat Aliran (N2)	0～5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
Julat Aliran (N2)	0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Ketepatan	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Jenis Pemacu Injap	Biasa Ditutup
Kelinearan	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Kebolehulangan	±0.2％FS
Masa tindak balas	≤1saat
Isyarat Input/output	0～5V
Sambungan Elektrik	Pin DB15 (jarum)
Operasi Tem.	5～45℃
Pra perbezaan	0.05～0.5MPa （MFC）； 0.03～3.0MPa （MFM）
Kadar Kebocoran	1×10-8SCCS （Dia）
Maks.Tekanan	3MPa
Bahan Sederhana	316L SS dan bahan pengedap
Bahan Pengedap	Viton, Getah silikon, NBR, Teflon, Kedap logam.
Saiz Bersama	VCR 1/4”；Swagelok 1/8” 、1/4”；φ3、 φ6mm
Bekalan Kuasa	+15V,50mA;-15V,200mA

Model	SQC-200
Julat Aliran (N2)	MFC：0～20,30,50,100,150,200SLM
Julat Aliran (N2)	MFM：0~20 ,30 ,50,100,150,200,250,300SLM
Ketepatan	±2％FS
Jenis Pemacu Injap	Biasa Ditutup
Kelinearan	±2％FS
Kebolehulangan	±0.2％FS
Masa tindak balas	≤5saat
Isyarat Input/output	1～5V；4～20mA
Sambungan Elektrik	Pin DB15 (jarum)
Operasi Tem.	5～45℃
Pra perbezaan	0.1～0.3MPa（MFC）； 0.05～3.0MPa （MFM）
Kadar Kebocoran	1×10-8SCCS （Dia）
Maks.Tekanan	3MPa
Bahan Sederhana	316L SS dan bahan pengedap
Bahan Pengedap	Viton, Getah silikon, NBR, ERP, Teflon
Saiz Bersama	Swagelok 3/8” 、1/2”； φ8、φ10、φ12mm
Bekalan Kuasa	24V,0.5A