Большая скорость откачки, долговечность, низкий уровень шума, пластинчато-роторный воздушный насос DRV, вакуумный насос
Вакуумный насос серии DRV представляет собой двухступенчатый пластинчато-роторный вакуумный насос с масляным уплотнением, подходящий для применений с низким и средним вакуумом и в основном используемый для удаления воздуха и других сухих газов.Это одно из основных устройств для низкого и среднего вакуума, его можно использовать отдельно или в качестве основного оборудования.
насос других вакуумных насосов.
Вакуумный насос отличается надежностью работы, меньшим количеством изнашиваемых деталей, низкой вибрацией, низким уровнем шума и высокой эффективностью.
Вакуумный насос серии SV импортирован из зарубежных передовых технологий, а ключевые компоненты импортированы или импортированы.
материалы.Вакуумный насос серии ДРВ может полностью заменить аналогичную зарубежную продукцию.
Брошюра о молекулярных насосах серии EVFB
Модель:
EVFB-100/301 Сложный интегрированный молекулярный насос
EVFB-160/401 Комплексный интегрированный молекулярный насос
EVFB-160/450D Антивибрационный молекулярный насос
EVFB-160/701Комплексный интегрированный молекулярный насос
EVFB-200/1401 Сложный интегрированный молекулярный насос
EVFB-250/2201 Сложный интегрированный молекулярный насос
EVFB-160/701Комплексный молекулярный насос
EVFB-200/1401 Комбинированный молекулярный насос
EVFB-250/2201 Комбинированный молекулярный насос
EVFB-400/3600 Турбомолекулярный насос
Турбомолекулярный насос EVFB-400/4500
Обзор продукта
Молекулярный насос представляет собой разновидность высокоскоростного вращающегося вакуумного насоса для передачи импульса, диапазон рабочего давления обычно составляет 10-1Па ~ 10-7Pa, является одним из важных устройств для получения вакуума для достижения высокого и сверхвысокого вакуума.Молекулярный насос имеет такие преимущества, как быстрая скорость запуска, широкий рабочий диапазон, низкое энергопотребление, высокая чистота и простота обслуживания.
Молекулярные насосы, описанные в этом сборнике образцов, относятся ко второму поколению продуктов.
недавно выпущенные компанией, которые в основном разработаны и оптимизированы для промышленного вакуума и научных исследований, включая первую серию промышленных вакуумных молекулярных насосов со встроенными контроллерами и гибкими сценариями применения.В зависимости от калибра в основном существуют DN100, DN160, DN200, DN250, DN400 и другие изделия.
Встроенный молекулярный насос с консистентной смазкой
Основные особенности этой серии продуктов:
（1） Встроенный контроллер: интегрированная конструкция контроллера，Облегчение системной интеграции，Ключевой старт-стоп；
(2) Прецизионный подшипник: прецизионный керамический шарикоподшипник со смазкой консистентной смазкой, устанавливается под любым углом;
（3） Высокая надежность: общие роторы, технология привода BLDC;
（4） Функциональное разнообразие: Полный набор аксессуаров，Доступны индивидуальные решения；
（5） Обеспечивает функцию регулировки скорости，Для удовлетворения требований различной скорости откачки；
Эта серия продуктов в основном подходит для нанесения PVD, CVD, жидкокристаллических пластин и других промышленных покрытий;Масс-спектрометрия, физика высоких энергий, обнаружение утечек вакуума, медицина и биологическая инженерия и другие области научных исследований.
Технические характеристики молекулярного насоса
| Модель | ЭВФБ-100/301 | ЭВФБ-160/401 | ЭВФБ-160/450Д（сделанный на заказ） | ||||
| ☑ вакуум параметры | |||||||
| Накачка скорость (л/с) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| Окончательный давление | < 5×10-6 Па (НЧ);< 5×10 -7 Па (CF) | < 8×10 -6 Па (НЧ) < 8×10 -7 Па (CF) | |||||
| Сжатие соотношение | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
| Максимальный непрерывный входпредss ура | 10 Па | 2Па | 10 Па | 2 Па | 20 | 5 Па | |
| Максимальное непрерывное переднее давление | 300 | 200 | 300 | 200 Па | 20 | 10 Па | |
| Макс. допуск на переднее давление | 1000 | 500 | 1000 | 500 Па | 50 | 20 Па | |
| ☑Физический параметр | |||||||
| Входное отверстие фланец | ДУ100 ИСО-К (ЛФ) или CF | DN160 ISO-K (LF) или CF | |||||
| Форлайн фланец | DN25 ISO-KF или DN40KF (опция) | ||||||
| Удалять фланец | ДУ16 ИСО-КФ | ||||||
| Масса | 9,6 кг (ИСО-К) | 10 кг (ИСО-К) | |||||
| 10 кг (CF) | 11 кг (CF) | ||||||
| Вибрация | ≤0,05 мкм | ||||||
| Шум | ≤55 дБ (стандартное воздушное охлаждение) | ||||||
| Несущий | Керамический шарикоподшипник, смазываемый консистентной смазкой. | ||||||
| Операционная позиция | Любой | ||||||
| Опер.эмбиент Магнитный поле | ≤3 мТл (самый большой 10 мТл, необходимо настроить) | ||||||
| Опер.амби nt | Воздушное охлаждение | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Водяное охлаждение | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Требования к охлаждающей воде | Температура воды: 15-30 ℃, давление: 0,15 МПа, PH6~8, чистая, без масла, расход: ≥1 л/мин. | ||||||
| рекомендуемые форнасос | 2~6 л/с | 3~8л/с | |||||
| ☑Контроллер параметры | |||||||
| Контроллер | ЭВФБ-II | ||||||
| Вращательный скорость | 48000рп | 36000 об/мин | |||||
| Низкий скорость | 33600рп | 25200 об/мин | |||||
| Запускать время | ≤5 минут | ||||||
| Напряжение | 48 В переменного тока ± 2% | ||||||
| Коммуникация режим | RS-485 | ||||||
| Модель | ЭВФБ-160/701 | ЭВФБ-200/1401 | ЭВФБ-250/2201 | ||||
| ☑ вакуум параметры | |||||||
| Окончательный давление (Па) | <5x10-6(LF);<5x10-7(CF) | ||||||
| Накачка скорость (л/с) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 год | 1800 г. | ||
| Сжатие соотношение | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
| Максимальный непрерывный входпредss моче (Па) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| Максимальное непрерывное давление на передней линии (Па) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Максфоринепреss уретолерантность (Па) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑Физический параметр | |||||||
| Входное отверстие фланец | DN160 ISO-K (LF) или CF | Ду200 ИСО-К （LF）或 CF | Ду250 ИСО-К （LF）или | ||||
| Форлайн фланец | DN25 ISO-KF или KF40 (опционально) | DN40 ISO-KF или KF50 (опция) | |||||
| Удалять фланец | ДУ16 ИСО-КФ | ||||||
| рекомендуемые форнасос (л/с) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| Масса（kg） | 20 ИСО-К(ЛФ) | 30 ИСО-К(ЛФ) | 40 ИСО-К(ЛФ) | ||||
| 23 (КФ) | 34 | 45 (КФ) | |||||
| Вибрация | ≤ | ||||||
| Шум (дБ) | ≤ | ||||||
| Несущий | Керамический шарикоподшипник, смазываемый консистентной смазкой. | ||||||
| Операционная позиция | Любой | ||||||
| Магнитный поле интенсивность (мТл) | ≤3 (самый большой 10 мТ, необходимо настроить) | ||||||
| Опер.эмбиент температура | Воздух охлаждение | 5~35℃ | |||||
| Вода охлаждение | 5~40℃ | ||||||
| Охлаждение вода требования | Температура воды: 15-25 ℃, давление: 0,15 МПа, PH6~8, прозрачная, без масла. ；поток: ≥1,5 л/мин | ||||||
| ☑Контроллер параметры | |||||||
| Контроллер | ЭВФБ-III-А | ||||||
| Коммуникация режим | RS-485 | ||||||
| Напряжение（V） | 220 В переменного тока ± 10% | ||||||
| Частота（Hz） | 50/60±5% | ||||||
| Максимум вход Власть（W） | 100 | ||||||
| Старт/Стоп контроль режим | Кнопки контроллера управляют запуском и остановкой / запуск и остановка контроллера RS485 / DB15 запуск и остановка управления | ||||||
| Защита | Перегрузка по току контроллера, перенапряжение, пониженное напряжение, защита от перегрева, перегрузка по току молекулярного насоса, перегрузка, защита от перегрева и т. д. | ||||||
| Вращательный скорость (об/мин) | 36000±0,1% | 30000±0,1% | 24000±0,1% | ||||
| Низкий скорость (об/мин) | 25200±0,1% | 21000±0,1% | 16800±0,1% | ||||
| Текущий（A） | ≤0,6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| Защита предохранитель（A） | 6,5 | 6,5 | 6,5 | ||||
| Время запуска（мин） | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| Время простоя（мин） | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
Габаритный размер
| Модель | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| ЭВФБ-100/301 | 100 ЛФ | 130 | 253,5 | 180 | 170 | — | — |
| 100 франков | 152 | 274,5 | 201 | 191 | 130,3 | 16 | |
| ЭВФБ-160/401 | 160 ЛФ | 180 | 239,5 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 238,5 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 | |
| ЭВФБ-160/450Д | 160 ЛФ | 180 | 243 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 242 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 |
| Модель | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| ЭВФБ-160/700 | 160 ЛФ | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201,8 | 124,8 |
| ЭВФБ-160/701 | 160CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 |
| ЭВФБ-200/1400 | 200 ЛФ | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155,1 |
| ЭВФБ-200/1401 | 200CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155,1 |
| ЭВФБ-250/2200 | 250 ЛФ | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203,8 | 165,3 |
| ЭВФБ-250/2201 | 250CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
Заказ Информация
| Число | Продукт модель | Продукт код | Аксессуары | Заказчисло | Объяснять |
|
1 |
ЭВФБ-100/301(ЛФ) |
А3123 | стандартный молекулярный насос | А3123 | Стандартный насос (воздушное охлаждение является стандартным по умолчанию) |
| Аксессуары для продувочного клапана(малый поток) | А3123-А | Стандартный насос + аксессуары для продувочного клапана (малый расход) | |||
| Компоненты водяного охлаждения | А3123-Б | Стандартный насос + компоненты водяного охлаждения (замените компоненты с воздушным охлаждением) | |||
| Аксессуары для продувочного клапана （малый расход）、Компоненты водяного охлаждения | А3123-С | Стандартный насос + аксессуары продувочного клапана (малый расход) + компоненты водяного охлаждения (замените компоненты с воздушным охлаждением) | |||
|
2 |
ЭВФБ-100/301(ЦФ) |
А3124 | стандартный молекулярный насос | А3124 | Стандартный насос (воздушное охлаждение является стандартным по умолчанию) |
| Аксессуары для продувочного клапана(малый поток) | А3124-А | Стандартный насос + аксессуары для продувочного клапана (малый расход) | |||
| Компоненты водяного охлаждения | А3124-Б | Стандартный насос + компоненты водяного охлаждения (замените компоненты с воздушным охлаждением) | |||
| Аксессуары для продувочного клапана （малый расход）、Компоненты водяного охлаждения | А3124-С | Стандартный насос + аксессуары продувочного клапана (малый расход) + компоненты водяного охлаждения (замените компоненты с воздушным охлаждением) | |||
|
3 |
ЭВФБ-160/401(ЛФ) |
А3127 | стандартный молекулярный насос | А3127 | Стандартный насос (воздушное охлаждение является стандартным по умолчанию) |
| Аксессуары для продувочного клапана(малый поток) | А3127-А | Стандартный насос + аксессуары для продувочного клапана (малый расход) | |||
| Компоненты водяного охлаждения | А3127-Б | Стандартный насос + компоненты водяного охлаждения (замените компоненты с воздушным охлаждением) | |||
| Аксессуары для продувочного клапана （малый расход）、Компоненты водяного охлаждения | А3127-С | Стандартный насос + аксессуары продувочного клапана (малый расход) + компоненты водяного охлаждения (замените компоненты с воздушным охлаждением) | |||
|
4 |
ЭВФБ-160/401(ЦФ) |
А3128 | стандартный молекулярный насос | А3128 | Стандартный насос (воздушное охлаждение является стандартным по умолчанию) |
| Аксессуары для продувочного клапана(малый поток) | А3128-А | Стандартный насос + аксессуары для продувочного клапана (малый расход) | |||
| Компоненты водяного охлаждения | А3128-Б | Стандартный насос + компоненты водяного охлаждения (замените компоненты с воздушным охлаждением) | |||
| Аксессуары для продувочного клапана | А3128-С | Стандартный насос + продувочный клапан |
| （малый расход）、Компоненты водяного охлаждения | аксессуары (малый расход) + компоненты водяного охлаждения (заменитекомпоненты с воздушным охлаждением) | ||||
|
5 |
ЭВФБ-160/450Д(ЛФ) |
А3129 | стандартный молекулярный насос | А3129 | Стандартный насос (воздушное охлаждение является стандартным по умолчанию) |
| Аксессуары для продувочного клапана(малый поток) | А3129-А | Стандартный насос + аксессуары для продувочного клапана (малый расход) | |||
| Компоненты водяного охлаждения | А3129-Б | Стандартный насос + компоненты водяного охлаждения (замените компоненты с воздушным охлаждением) | |||
| Аксессуары для продувочного клапана （малый расход）、Компоненты водяного охлаждения | А3129-С | Стандартный насос + аксессуары продувочного клапана (малый расход) + компоненты водяного охлаждения (замените компоненты с воздушным охлаждением) | |||
|
6 |
ЭВФБ-160/450Д(ЦФ) |
А3130 | стандартный молекулярный насос | А3130 | Стандартный насос (воздушное охлаждение является стандартным по умолчанию) |
| Аксессуары для продувочного клапана(малый поток) | А3130-А | Стандартный насос + аксессуары для продувочного клапана (малый расход) | |||
| Компоненты водяного охлаждения | А3130-Б | Стандартный насос + компоненты водяного охлаждения (замените компоненты с воздушным охлаждением) | |||
| Аксессуары для продувочного клапана （малый расход）、Компоненты водяного охлаждения | А3130-С | Стандартный насос + аксессуары продувочного клапана (малый расход) + компоненты водяного охлаждения (замените компоненты с воздушным охлаждением) | |||
|
7 |
ЭВФБ-160/701(ЛФ) |
А3139 | стандартный молекулярный насос | А3139 | Стандартный насос (водяное охлаждение)стандартно по умолчанию） |
| Аксессуары для продувочного клапана | А3139-А | Стандартный насос + продувочный клапанаксессуары | |||
| Компоненты вентилятора | А3139-Б | Стандартный насос + Вентилятор | |||
| Аксессуары для продувочного клапана、Компоненты вентилятора | А3139-С | Стандартный насос + продувочный клапанаксессуары + Компоненты вентилятора | |||
|
8 |
ЭВФБ-160/701(ЦФ) |
А3140 | стандартный молекулярный насос | А3140 | Стандартный насос (водяное охлаждение)стандартно по умолчанию） |
| Аксессуары для продувочного клапана | А3140-А | Стандартный насос + продувочный клапанаксессуары | |||
| Компоненты вентилятора | А3140-Б | Стандартный насос + компоненты вентилятора | |||
| Аксессуары для продувочного клапана、Компоненты вентилятора | А3140-С | Стандартный насос + продувочный клапанаксессуары + Компоненты вентилятора | |||
|
9 |
ЭВФБ-200/1401(ЛФ) |
А3135 | стандартный молекулярный насос | А3135 | Стандартный насос (водяное охлаждение является стандартным по умолчанию) |
| Аксессуары для продувочного клапана | А3135-А | Стандартный насос + продувочный клапанаксессуары | |||
| Компоненты вентилятора | А3135-Б | Стандартный насос + компоненты вентилятора | |||
| Аксессуары для продувочного клапана、 | А3135-С | Стандартный насос + продувочный клапан |
| Компоненты вентилятора | аксессуары + Компоненты вентилятора | ||||
|
10 |
ЭВФБ-200/1401(ЦФ) |
А3136 | стандартный молекулярный насос | А3136 | Стандартный насос (водяное охлаждение является стандартным по умолчанию) |
| Аксессуары для продувочного клапана | А3136-А | Стандартный насос + продувочный клапанаксессуары | |||
| Компоненты вентилятора | А3136-Б | Стандартный насос + компоненты вентилятора | |||
| Аксессуары для продувочного клапана、 | А3136-С | Стандартный насос + продувочный клапанаксессуары + Компоненты вентилятора | |||
|
11 |
ЭВФБ-250/2201(ЛФ) |
А3141 | стандартный молекулярный насос | А3141 | Стандартный насос (водяное охлаждение является стандартным по умолчанию) |
| Аксессуары для продувочного клапана | А3141-А | Стандартный насос + продувочный клапанаксессуары | |||
| Компоненты вентилятора | А3141-Б | Стандартный насос + Вентилятор | |||
| Аксессуары для продувочного клапана、Компоненты вентилятора | А3141-С | Стандартный насос + продувочный клапанаксессуары + Компоненты вентилятора | |||
|
12 |
ЭВФБ-250/2201(ЦФ) |
А3142 | стандартный молекулярный насос | А3142 | Стандартный насос (водяное охлаждение является стандартным по умолчанию) |
| Аксессуары для продувочного клапана | А3142-А | Стандартный насос + продувочный клапанаксессуары | |||
| Компоненты вентилятора | А3142-Б | Стандартный насос + Вентилятор | |||
| Аксессуары для продувочного клапана、 | А3142-С | Стандартный насос + продувочный клапанаксессуары + Компоненты вентилятора | |||
| 13 | ЭВФБ-II | А3261 | - | А3261 | Контроллер молекулярного насоса (подходит для молекулярных насосов, таких как EVFB-100/301, EVFB-160/401, EVFB-100/450D) |
| 14 | ЭВФБ-III-А | А3263 | - | А3263 | Контроллер молекулярного насоса（ Подходит для молекулярных насосов, таких как EVFB- 160/701, EVFB- 200/1401, EVFB-250/2201） |
Молекулярные насосы с раздельными соединениями
Основные особенности этой серии продуктов:
(1) Отдельный контроллер: источник питания переменного тока 220 В, кнопка запуска-остановки;
(2) Высокая надежность: общие роторы, технология привода BLDC;
（3） Прецизионный подшипник: прецизионный керамический шарикоподшипник, устанавливается под любым углом (только модели со смазкой консистентной смазкой);
（4） Функциональное разнообразие: Полный набор аксессуаров，Доступны индивидуальные решения；
(5) Обеспечивает функцию регулируемой скорости. Для удовлетворения требований различных скоростей откачки. Эта серия продуктов в основном применима для PVD, CVD, жидкокристаллических пластин и других
промышленные покрытия, научные исследования и другие области.
Технические параметры молекулярного насоса
| Модель | ЭВФБ-160/701 | ЭВФБ-200/1401 | ЭВФБ-250/2201 | ЭВФБ-400/3600 | ЭВФБ-400/4500 | |||||
| ☑ вакуум параметры | ||||||||||
| Предельное давление (Па) | <5x10-6(LF);<5x10-7(CF) | |||||||||
| Накачка скорость (л/с) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 год | 1800 г. | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| Коэффициент сжатия | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
| Максимум непрерывный входное отверстиедавление (Па) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0,05 | 0,02 | 0,03 | 0,01 |
| Максимумнепрерывный Форлайн | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| Макс. толерантность к переднему давлению (Па) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑Физический параметр | ||||||||||
| Входное отверстие фланец | DN160 ISO-K (LF) илиCF | DN200 ISO-K (LF) илиCF | DN250 ISO-K (LF) илиCF | DN400 ISO-K (LF) илиCF | DN400 ISO-K (LF) илиCF | |||||
| Форлайн фланец | DN25 ISO-KF，KF40 (опционально) | DN40 ISO-KF, KF50 (опция) | DN100 ISO-K(LF) | DN100 ISO-K(LF)илиKF50 (опционально) | ||||||
| Удалять фланец | ДУ16 ИСО-КФ | / | ДУ16 ИСО-КФ | |||||||
| рекомендуемые | 4~10 л/с | 8~16 л/с | 16~24 л/с | 30~70 л/с | ||||||
| Масса（kg） | 20 ИСО-К(ЛФ) | 30 ИСО-К(ЛФ) | 40 ИСО-К(ЛФ) | ≈ 100 ISO-K(LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (КФ) | 34 (КФ) | 45 (КФ) | ≈ 105 (КФ) | ≈ 88 (КФ) | ||
| Вибрация | ≤ 0,05 | ≤ 0,3 | ||||
| Шум (дБ) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| Несущий | Керамический шарикоподшипник, смазываемый консистентной смазкой. | Керамический шарикоподшипник | ||||
| Операционная позиция | Любой | Вертикально±5° | ||||
| Опер.Амбиент Магнитное поле | ≤ 3 мТ (самый большой 10 мТ, необходимо настроить) | ≤ 3 мТл | ||||
| Опер.окружающий температура | Воздух охлаждение | 5~35°С | / | / | ||
| Водяное охлаждение | 5~40оС | |||||
| Охлаждение вода требования | Температура воды: 15-25 ℃; давление: 0,15 МПа; расход: ≥ 1,5 л/мин. | поток: ≥ 3 л/мин | ||||
| ☑Контроллер параметры | ||||||
| Отдельный контроллер | ЭВФБ-III-Б (2U) | ЭВФБ-VI（4U） | ||||
| Удаленный контроль | Ультра-дистанционное управление (пожалуйста, проконсультируйтесь с нашими инженерами) | |||||
| Коммуникация режим | RS-485 | |||||
| Напряжение（V） | От 100 до 240 В переменного тока（± | 220 В переменного тока (±10%) | ||||
| Частота（Hz） | 50/60 Гц±5% | |||||
| Максимальная входная мощность（W） | 1000 | 1500 | ||||
| Старт/Стоп контроль режим | Кнопки контроллера управляют запуском и остановкой / запуск и остановка контроллера RS485 / DB15 запуск и остановка управления | |||||
| Защита | Перегрузка по току контроллера, перенапряжение, пониженное напряжение, защита от перегрева, перегрузка по току молекулярного насоса,защита от перегрузки, перегрева и т. д. | |||||
| Вращательный скорость (об/мин) | 36000±0,1% | 30000±0,1% | 24000±0,1% | 13500±0,1% | 16200±0,1% | |
| Низкий скорость (об/мин) | 25200±0,1% | 21000±0,1% | 16800±0,1% | / | ||
| Текущий（A） | ≤ 0,6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| Защита предохранитель（A） | 6,5 | 6,5 | 6,5 | 12 | ||
| Запускать время（мин） | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| Время простоя（мин） | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| Опер. окружающий состояние | Отсутствие агрессивных газов и видимых частиц пыли; температура окружающей среды: -10 ℃ ~ 50 ℃; окружающая средавлажность: ≤ 90%, интенсивность вибрации: ≤ 0,5 г | |||||
0общий размер
| Модель | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| ЭВФБ-160/700 ЭВФБ-160/701 | 160 ЛФ | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201,8 | 124,8 |
| 160CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 | |
| ЭВФБ-200/1400 ЭВФБ-200/1401 | 200 ЛФ | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155,1 |
| 200CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155,1 | |
| ЭВФБ-250/2200 ЭВФБ-250/2201 | 250 ЛФ | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203,8 | 165,3 |
| 250CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
Размеры турбомолекулярного насоса ЭВФБ-400/3600
Размеры турбомолекулярного насоса ЭВФБ-400/4500
Внешний вид отдельного контроллера
EVFB-III-B (2U) отдельный контроллер
Отдельный контроллер EVFB-VI (4U)
Заказ Информация
| число | Продукт модель | продукт код | Аксессуары | Заказ число | Объяснять |
|
1 |
ЭВФБ-160/701(ЛФ) |
А3139-Ф | Стандартный молекулярный насос | А3139-Ф | Стандартный насос (водяное охлаждение является стандартным по умолчанию) |
| Аксессуары для продувочного клапана | А3139-ФА | Стандартный насос + аксессуары для продувочного клапана | |||
| Компоненты вентилятора | А3139-ФБ | Стандартный насос + компоненты вентилятора | |||
| Аксессуары для продувочного клапана, компоненты вентилятора | А3139-ФК | Стандартный насос + аксессуары для продувочного клапана + компоненты вентилятора | |||
|
2 |
ЭВФБ-160/701(ЦФ) |
А3140-Ф | стандартный молекулярный насос | А3140-Ф | Стандартный насос (водяное охлаждение является стандартным по умолчанию) |
| Аксессуары для продувочного клапана | А3140-ФА | Стандартный насос + аксессуары для продувочного клапана | |||
| Компоненты вентилятора | А3140-ФБ | Стандартный насос + компоненты вентилятора | |||
| Аксессуары для продувочного клапана, компоненты вентилятора | А3140-ФК | Стандартный насос + аксессуары для продувочного клапана + компоненты вентилятора | |||
|
3 |
ЭВФБ-200/1401(ЛФ) |
А3135-Ф | стандартный молекулярный насос | А3135-Ф | Стандартный насос (водяное охлаждение стандарт по умолчанию) |
| Аксессуары для продувочного клапана | А3135-ФА | Стандартный насос + аксессуары для продувочного клапана | |||
| Компоненты вентилятора | А3135-ФБ | Стандартный насос + компоненты вентилятора | |||
| Аксессуары для продувочного клапана, компоненты вентилятора | А3135-ФК | Стандартный насос + аксессуары для продувочного клапана + компоненты вентилятора | |||
|
4 |
ЭВФБ-200/1401(ЦФ) |
А3136-Ф | стандартный молекулярный насос | А3136-Ф | Стандартный насос (водяное охлаждение является стандартным по умолчанию) |
| Аксессуары для продувочного клапана | А3136-ФА | Стандартный насос + аксессуары для продувочного клапана | |||
| Компоненты вентилятора | А3136-ФБ | Стандартный насос + компоненты вентилятора | |||
| Аксессуары для продувочного клапана, компоненты вентилятора | А3136-ФК | Стандартный насос + аксессуары для продувочного клапана + компоненты вентилятора | |||
|
5 |
ЭВФБ-250/2201(ЛФ) |
А3141-Ф | стандартный молекулярный насос | А3141-Ф | Стандартный насос (водяное охлаждение является стандартным по умолчанию) |
| Аксессуары для продувочного клапана | А3141-ФА | Стандартный насос + аксессуары для продувочного клапана | |||
| Компоненты вентилятора | А3141-ФБ | Стандартный насос + компоненты вентилятора | |||
| Аксессуары для продувочного клапана, компоненты вентилятора | А3141-ФК | Стандартный насос + аксессуары для продувочного клапана + компоненты вентилятора | |||
|
6 |
ЭВФБ-250/2201(ЦФ) |
А3142-Ф | стандартный молекулярный насос | А3142-Ф | Стандартный насос (водяное охлаждение является стандартным по умолчанию) |
| Аксессуары для продувочного клапана | А3142-ФА | Стандартный насос + аксессуары для продувочного клапана | |||
| Компоненты вентилятора | А3142-ФБ | Стандартный насос + компоненты вентилятора | |||
| Аксессуары для продувочного клапана | А3142-ФК | Стандартный насос + продувочный клапан |
| Компоненты вентилятора | аксессуары + Компоненты вентилятора | ||||
| 7 | ЭВФБ-400/3600(ЛФ) | А3187 | стандартный молекулярный насос | А3187 | Стандартный насос (водяное охлаждение) стандартно по умолчанию） |
| 8 | ЭВФБ-400/3600(CF) | А3188 | стандартный молекулярный насос | А3188 | Стандартный насос (водяное охлаждение) стандартно по умолчанию） |
|
9 |
ЭВФБ-400/4500(ЛФ) |
А3185 | стандартный молекулярный насос | А3185 | Стандартный насос (водяное охлаждение является стандартным по умолчанию) |
| Аксессуары для продувочного клапана | А3185-А | Стандартный насос + аксессуары для продувочного клапана | |||
|
10 |
ЭВФБ-400/4500(CF) |
А3186 | стандартный молекулярный насос | А3186 | Стандартный насос (водяное охлаждение является стандартным по умолчанию) |
| Аксессуары для продувочного клапана | А3186-А | Стандартный насос + аксессуары для продувочного клапана | |||
|
11 |
EVFB-III-ИЧМ |
А3261-1 |
Панель с ручным управлением |
А3261-1 | По желанию заказчика. Подходит для молекулярных насосов, таких как EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201. |
| 12 | ЭВФБ-VI | А3270 | Отдельный контроллер （4U） | А3270 | Подходит для турбомолекулярных насосов, таких как EVFB-400/3600, EVFB-400/450. |
| 13 | ЭВФБ-III-Б | А3264 | Отдельный контроллер （2U） | А3264 | Подходит для молекулярных насосов, таких как EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201. (отдельный тип) |
Категории товаров
-
Пластинчато-роторный вакуумный насос серии 2X
-
Масляный роторный вакуумный насос серии RVP
-
Пластинчато-роторный вакуумный насос серий RS и 2RS
-
Серия SV Одноступенчатый роторно-лопастной V с масляным уплотнением...
-
Камера вакуумной дегазации
-
Двухступенчатый роторно-лопастной пылесос с прямым маслом серии 2XZ...
