Ubushyuhe bwa gazi yubushyuhe (MFC)

Ibisobanuro bigufi:

Igenzura rya gazi ya gazi yubushyuhe (MFC) ntabwo ifite imikorere ya metero nini gusa, ariko kandi icyingenzi irashobora kugenzura gazi ihita bivuze ko uyikoresha ashobora gushyiraho imigendekere nkuko abisabye.MFC izakosora imigendekere yagaciro ihita.Agaciro kashyizweho ntikazatandukana kabone niyo sisitemu ihindagurika cyangwa ubushyuhe bwikikije.Muri make, umugenzuzi wa massage ni igikoresho gihamye, ni igikoresho gihamye cya gazi gishobora gutegurwa intoki cyangwa kugenzurwa na mudasobwa mu buryo bwikora.

Ohereza imeri kuri twe

Ibicuruzwa birambuye

Ibicuruzwa

Uwitekarmalgasmindogobefhasimeter(MFM) isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotconTrolledbyfluctuationsintemperatureorpressure, impanothecompensationoftemperatureandpressure.

Icyitegererezo	SQC-100
Urwego rutemba (N2)	0 ～ 5，10，20，30 ， 50 ， 100 ， 200，500SCCM
Urwego rutemba (N2)	0 ～ 1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Ukuri	± 1 ％ FS (≤15SLM) ； ± 2 ％ FS (＞ 15SLM)
Ubwoko bwa Drive	Bisanzwe Bifunze
Umurongo	± 1 ％ FS (≤15SLM) ； ± 2 ％ FS (＞ 15SLM)
Gusubiramo	± 0.2 ％ FS
Igihe cyo gusubiza	≤1sec
Iyinjiza / Ibisohoka Ikimenyetso	0 ～ 5V
Amashanyarazi	DB15 pin (inshinge)
Igikorwa Tem.	5 ～ 45 ℃
Itandukaniro Pre.	0.05 ～ 0.5MPa （MFC）； 0.03 ～ 3.0MPa （MFM）
Igipimo	1 × 10-8SCCS （We）
Icyiza.Umuvuduko	3MPa
Ibikoresho byo hagati	316L SS n'ibikoresho byo gufunga
Ikidodo	Viton, reberi ya Silicone, NBR, Teflon, Ikidodo.
Ingano ihuriweho	VCR 1/4 ”； Swagelok 1/8” 、 1/4 ”； φ3 、 φ6mm
Amashanyarazi	+ 15V, 50mA ； -15V, 200mA

Icyitegererezo	SQC-200
Urwego rutemba (N2)	MFC ： 0 ～ 20，30 ， 50 ， 100 ， 150 ， 200SLM
Urwego rutemba (N2)	MFM ： 0 ～ 20 ， 30 ， 50，100 ， 150 ， 200 ， 250，300SLM
Ukuri	± 2 ％ FS
Ubwoko bwa Drive	Bisanzwe Bifunze
Umurongo	± 2 ％ FS
Gusubiramo	± 0.2 ％ FS
Igihe cyo gusubiza	≤5sec
Iyinjiza / Ibisohoka Ikimenyetso	1 ～ 5V ； 4 ～ 20mA
Amashanyarazi	DB15 pin (inshinge)
Igikorwa Tem.	5 ～ 45 ℃
Itandukaniro Pre.	0.1 ～ 0.3MPa （MFC）； 0.05 ～ 3.0MPa （MFM）
Igipimo	1 × 10-8SCCS （We）
Icyiza.Umuvuduko	3MPa
Ibikoresho byo hagati	316L SS n'ibikoresho byo gufunga
Ikidodo	Viton, reberi ya Silicone, NBR, ERP, Teflon
Ingano ihuriweho	Swagelok 3/8 ”、 1/2” ； φ8 、 φ10 、 φ12mm
Amashanyarazi	24V, 0.5A