Назоратчии ҷараёни массаи гази гармӣ (MFC) тасвири пешниҳодшуда

Назорати ҷараёни массаи гази гармӣ (MFC)

Тавсифи кӯтоҳ:

Назоратчии ҷараёни массаи гази гармӣ (MFC) на танҳо вазифаи ҳисобкунаки гардиши оммаро дорад, балки муҳимтар аз он метавонад ҷараёни газро ба таври худкор идора кунад, яъне корбар метавонад ҷараёнро ҳамчун дархост муқаррар кунад.MFC ҷараёнро дар арзиши муқарраршуда ба таври худкор ислоҳ мекунад.Қимати муқарраршуда, ҳатто агар тағирёбии фишори система ё тағирёбии ҳарорати атроф тағйир наёбад.Хулоса, контролери ҷараёни оммавӣ як дастгоҳи устувори ҷараён аст, дастгоҳи устувори ҷараёни газ аст, ки онро дастӣ барномарезӣ кардан ё тавассути компютер ба таври худкор идора кардан мумкин аст.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Тафсилоти маҳсулот

Тегҳои маҳсулот

Дарrmалгаҳоmхарfпастmeter(MFM)isakиндoфакураtemeасуремentofgasflow,the meасуredvalистифода мебарандnотконтроlledbyfлуқtuatioнсинтемперtureorpressлозим нестtгектарompensationoftэмпеratуреandpressure.

Модели	SQC-100
Диапазони ҷараён (N2)	0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
Диапазони ҷараён (N2)	0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Дақиқӣ	±1%FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Навъи драйви клапан	Муқаррарӣ баста
Хатӣ	±1%FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Такрорпазирӣ	±0,2%FS
Вақти ҷавоб	≤1 сония
Сигнали вуруд/баромад	0 ~ 5 В
Пайвастагии барқӣ	DB15 пин (сӯзан)
Амалиёт Тем.	5~45℃
Пешниҳоди дифференсиалӣ.	0,05～0,5МПа (MFC); 0,03～3,0МПа (MFM)
Меъёри ихроҷ	1 × 10-8SCCS （Ӯ）
Макс.Фишор	3МПа
Маводи миёна	316L SS ва маводи мӯҳр
Маводи мӯҳр	Витон, резини силикон, NBR, тефлон, мӯҳри металлӣ.
Андозаи муштарак	Видеомагнитофон 1/4”；Swagelok 1/8” 、1/4”；φ3, φ6мм
Таъмини нерӯ	+15V,50mA；-15V,200mA

Модели	SQC-200
Диапазони ҷараён (N2)	MFC: 0～20, 30, 50, 100, 150, 200SLM
Диапазони ҷараён (N2)	MFM: 0～20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300SLM
Дақиқӣ	±2％FS
Навъи драйви клапан	Муқаррарӣ баста
Хатӣ	±2％FS
Такрорпазирӣ	±0,2%FS
Вақти ҷавоб	≤5 сония
Сигнали вуруд/баромад	1～5V；4～20mA
Пайвастагии барқӣ	DB15 пин (сӯзан)
Амалиёт Тем.	5~45℃
Пешниҳоди дифференсиалӣ.	0,1～0,3МПа（MFC）； 0,05～3,0МПа（MFM）
Меъёри ихроҷ	1 × 10-8SCCS （Ӯ）
Макс.Фишор	3МПа
Маводи миёна	316L SS ва маводи мӯҳр
Маводи мӯҳр	Витон, резини силикон, NBR, ERP, тефлон
Андозаи муштарак	Swagelok 3/8” 、 1/2 ”； φ8, φ10, φ12мм
Таъмини нерӯ	24В,0,5А