Rылылык газының масса агымы контроллеры (MFC)

Кыска тасвирлау:

Rылылык газ массасы агым контроллеры (MFC) масса агымы счетчикы функциясенә генә түгел, ә иң мөһиме, ул газ агымын автоматик рәвештә контрольдә тота ала, димәк, кулланучы агымны сорау буенча куя ала.MFC агымны билгеләнгән бәягә автоматик рәвештә төзәтәчәк.Система басымы үзгәрү яки тирә температура үзгәрсә дә, куелган кыйммәт читкә тайпылмас.Кыскасы, масса агым контроллеры - агымның тотрыклы җайланмасы, газ агымының тотрыклы җайланмасы кул белән программалаштырыла яки компьютер белән автоматик рәвештә контрольдә тотыла ала.

Безгә электрон почта җибәрегез

Продукциянең детальләре

Продукция тэглары

.Әр сүзнеңrmалгасmишәкfтүбәнmeter(MFM)kиндoфакураtemeasurementofgasflow,the measuredvalуесареnотконтроlledbyfluctuatioнсинтемпераtуреорпрessуре, донот кирәк түгелthecompensationoftemperatуреandpressure.

Модель	SQC-100
Агым диапазоннары (N2)	0 ～ 5，10，20，30 ， 50 ， 100 ， 200，500SCCM
Агым диапазоннары (N2)	0 ～ 1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30СЛМ
Төгәллек	± 1 ％ FS (≤15SLM) ； ± 2 ％ FS (＞ 15SLM)
Клапан диск төре	Нормаль ябык
Сызык	± 1 ％ FS (≤15SLM) ； ± 2 ％ FS (＞ 15SLM)
Кабатлану	± 0,2 ％ ФС
Timeавап бирү вакыты	≤1сек
Керү / чыгу сигналы	0 ～ 5В
Электр кушылмасы	DB15 пин (энә)
Операция Тем.	5 ～ 45 ℃
Дифференциаль алдан.	0.05 ～ 0.5MPa （MFC）； 0.03 ～ 3.0MPa （MFM）
Саклау ставкасы	1 × 10-8SCCS （Ул）
Макс.Басым	3МПа
Урта материал	316L SS һәм мөһерләү материалы
Мөһерләү материалы	Витон, Силикон каучук, NBR, Тефлон, металл мөһер.
Уртак размер	VCR 1/4 "； Свагелок 1/8" 、 1/4 "； φ3 、 mm6мм
Энергия чыганагы	+ 15В, 50МА ； -15В, 200МА

Модель	SQC-200
Агым диапазоннары (N2)	MFC ： 0 ～ 20，30 ， 50 ， 100 ， 150 ， 200SLM
Агым диапазоннары (N2)	MFM ： 0 ～ 20 ， 30 ， 50，100 ， 150 ， 200 ， 250，300SLM
Төгәллек	± 2 ％ FS
Клапан диск төре	Нормаль ябык
Сызык	± 2 ％ FS
Кабатлану	± 0,2 ％ ФС
Timeавап бирү вакыты	≤5сек
Керү / чыгу сигналы	1 ～ 5В ； 4 ～ 20МА
Электр кушылмасы	DB15 пин (энә)
Операция Тем.	5 ～ 45 ℃
Дифференциаль алдан.	0.1 ～ 0.3MPa （MFC）； 0.05 ～ 3.0MPa （MFM）
Саклау ставкасы	1 × 10-8SCCS （Ул）
Макс.Басым	3МПа
Урта материал	316L SS һәм мөһерләү материалы
Мөһерләү материалы	Витон, Силикон каучук, NBR, ERP, Teflon
Уртак размер	Свагелок 3/8 "、 1/2" ； φ8 、 φ10 、 mm12 мм
Энергия чыганагы	24В, 0.5А