چوڭ پومپىنىڭ سۈرئىتى چىداملىق تۆۋەن شاۋقۇن DRV ئايلانما شامال ھاۋا پومپىسى ۋاكۇئۇم پومپىسى
DRV يۈرۈشلۈك ۋاكۇئۇم پومپىسى قوش ۋە ئايلانما ۋاكۇئۇم پومپىسى بولۇپ ، تۆۋەن ۋە ئوتتۇرا ۋاكۇئۇملۇق پروگراممىلارغا ماس كېلىدۇ ، ئاساسلىقى ھاۋا ۋە باشقا قۇرۇق گازلارنى چىقىرىشقا ئىشلىتىلىدۇ.ئۇ تۆۋەن ۋە ئوتتۇرا ۋاكۇئۇمنىڭ ئاساسلىق ئۈسكۈنىلىرىنىڭ بىرى ، ئۇنى يالغۇز ياكى ئالدىنقى ئورۇنغا ئىشلىتىشكە بولىدۇ
باشقا ۋاكۇئۇم پومپىنىڭ پومپىسى.
ۋاكۇئۇم پومپىنىڭ ئىشەنچلىك يۈگۈرۈش ئىقتىدارى ، زاپچاسلىرى ئاز ، تەۋرىنىش تۆۋەن ، شاۋقۇن تۆۋەن ۋە يۇقىرى ئېلېكتر ئىقتىدارىنىڭ ئالاھىدىلىكى بار.
SV يۈرۈشلۈك ۋاكۇئۇم پومپىسى چەتئەلنىڭ ئىلغار تېخنىكىلىرىدىن ئىمپورت قىلىنغان ، ئاساسلىق تەركىبلەر ئىمپورت قىلىنغان زاپچاسلار ياكى ئىمپورت قىلىنغان
ماتېرىياللار.DRV يۈرۈشلۈك ۋاكۇئۇم پومپىسى مۇشۇنىڭغا ئوخشاش چەتئەل مەھسۇلاتلىرىنىڭ ئورنىنى ئالالايدۇ.
EVFB يۈرۈشلۈك مولېكۇلا پومپىسى مەھسۇلاتلىرىنىڭ رىسالىسى
Model ：
EVFB-100/301 بىرىكمە مولېكۇلا پومپىسى
EVFB-160/401 بىرىكمە مولېكۇلا پومپىسى
EVFB-160 / 450D تەۋرىنىشكە قارشى مولېكۇلا پومپىسى
EVFB-160/701 بىرىكمە مولېكۇلا پومپىسى
EVFB-200/1401 بىرىكمە مولېكۇلا پومپىسى
EVFB-250/2201 بىرىكمە مولېكۇلا پومپىسى
EVFB-160/701 بىرىكمە مولېكۇلا پومپىسى
EVFB-200/1401 بىرىكمە مولېكۇلا پومپىسى
EVFB-250/2201 بىرىكمە مولېكۇلا پومپىسى
EVFB-400/3600 Turbo مولېكۇلا پومپىسى
EVFB-400/4500 Turbo مولېكۇلا پومپىسى
مەھسۇلات ئومۇمىي ئەھۋالى
مولېكۇلا پومپىسى بىر خىل يۇقىرى سۈرئەتلىك ئايلانما ھەرىكەتلەندۈرگۈچ كۈچ ۋاكۇئۇم پومپىسى ، ئۇنىڭ خىزمەت بېسىمى ئادەتتە 10-1Pa ~ 10-7پا ، يۇقىرى ۋاكۇئۇم ۋە دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ۋاكۇئۇمنى ئەمەلگە ئاشۇرۇشتىكى مۇھىم ۋاكۇئۇم سېتىۋېلىش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ بىرى.مولېكۇلا پومپىسىنىڭ قوزغىلىش سۈرئىتى تېز ، خىزمەت دائىرىسى كەڭ ، توك سەرپىياتى تۆۋەن ، پاكىزلىقى يۇقىرى ۋە ئاددىي ئاسراش ئەۋزەللىكى بار.
بۇ ئەۋرىشكە كىتابىدا تەسۋىرلەنگەن مولېكۇلا پومپىسى مەھسۇلاتلىرى ئىككىنچى ئەۋلاد مەھسۇلات
بۇ شىركەت تەرىپىدىن يېڭىدىن بازارغا سېلىنغان بولۇپ ، ئاساسلىقى سانائەت ۋاكۇئۇم ۋە ئىلمىي تەتقىقات ساھەلىرى ئۈچۈن لايىھەلەنگەن ۋە ئەلالاشتۇرۇلغان بولۇپ ، بىرىكمە كونتروللىغۇچ ۋە ئەۋرىشىم قوللىنىشچان سىنارىيە بىلەن بىرىنچى يۈرۈش سانائەت ۋاكۇئۇم مولېكۇلا پومپىسى مەھسۇلاتلىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.كالىبېرغا ئاساسلانغاندا ، ئاساسلىقى DN100 ، DN160 ، DN200 ، DN250 ۋە DN400 ۋە باشقا مەھسۇلاتلار بار.
مايلانغان بىرىكمە مولېكۇلا پومپىسىنى مايلاش
بۇ بىر يۈرۈش مەھسۇلاتلارنىڭ ئاساسلىق ئالاھىدىلىكى:
（1 rated توپلاشتۇرۇلغان كونتروللىغۇچ: توپلاشتۇرۇلغان كونتروللىغۇچ لايىھىسى system سىستېمىنىڭ بىر گەۋدىلىشىشىنى ئاسانلاشتۇرۇش ， ئاچقۇچلۇق باشلىنىش stop
（2） ئېنىقلىق دەرىجىسى ： سىلىقلاش مېيى ئېنىق ساپال ساپال توپ any ھەر قانداق بۇلۇڭغا ئورنىتىلغان ；
（3 reliability يۇقىرى ئىشەنچلىك ： ئومۇمىي ئايلانما ， BLDC ھەيدەش تېخنىكىسى ；
（4 unction ئىقتىدارنىڭ كۆپ خىللىقى accessories قوشۇمچە زاپچاسلار ， خاسلاشتۇرۇلغان ھەل قىلىش چارىسى بار ；
（5 adjust تەڭشىگىلى بولىدىغان سۈرئەت ئىقتىدارى بىلەن تەمىنلەش variety ھەر خىل پومپا سۈرئىتىنىڭ تەلىپىگە ماسلىشىش ；
بۇ بىر يۈرۈش مەھسۇلاتلار ئاساسلىقى PVD ، CVD ، سۇيۇق كرىستال تاختا ۋە باشقا سانائەت سىرلىرىغا ماس كېلىدۇ.ئاممىۋى سپېكترومېتىرىيە ، يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك فىزىكا ، ۋاكۇئۇمنىڭ ئېقىپ كېتىشىنى بايقاش ، داۋالاش ۋە بىئولوگىيە قۇرۇلۇشى ۋە باشقا ئىلمىي تەتقىقات ساھەلىرى.
مولېكۇلا پومپىسىنىڭ تېخنىكىلىق ئۆلچىمى
| Model | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160 / 450D（زاكاس قىلىنغان） | ||||
| ☑The ۋاكۇئۇم پارامېتىرلىرى | |||||||
| Pumping سۈرئەت (L / s) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| Ultimate بېسىم | <5 × 10-6 Pa (LF);<5 × 10 -7 Pa (CF) | <8 × 10 -6 Pa (LF) <8 × 10 -7 Pa (CF) | |||||
| پىرىسلاش نىسبىتى | > | > | > | > | > 1 × 108 | > 1 × 10 3 | |
| Maximumcontinuousinletpress ure | 10 Pa | 2Pa | 10 Pa | 2 Pa | 20 | 5 Pa | |
| MaximumcontinuousForelinepressure | 300 | 200 | 300 | 200 Pa | 20 | 10 Pa | |
| Maxforelinepressuretolerance | 1000 | 500 | 1000 | 500 Pa | 50 | 20 Pa | |
| ☑Physical پارامېتىر | |||||||
| Inlet flange | DN100 ISO-K (LF) ياكى CF | DN160 ISO-K (LF) ياكى CF | |||||
| Foreline flange | DN25 ISO-KF ياكى DN40KF ional ئىختىيارى） | ||||||
| تازىلاش flange | DN16 ISO-KF | ||||||
| ئېغىرلىقى | 9.6 كىلوگىرام （ISO-K | 10kg （ISO-K） | |||||
| 10kg （CF） | 11 kg （CF） | ||||||
| تەۋرىنىش | .050.05 mm | ||||||
| شاۋقۇن | ≤55 dB standard ئۆلچەملىك ھاۋا سوۋۇتۇش） | ||||||
| توشۇش | سىلىقلانغان ساپال توپنى مايلاش | ||||||
| مەشغۇلات ئورنى | ھەر قانداق | ||||||
| Oper.ambient ماگنىتلىق field | ≤3 mT lar ئەڭ چوڭ 10mT custom خاسلاشتۇرۇشقا ئېھتىياجلىق） | ||||||
| Oper.ambie nt | Aircooling | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Watercooling | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Coolingwaterrequirements | سۇ تېمپېراتۇرىسى ： 15-30 ℃ ； بېسىم ： 0.15Mpa ； PH6 ~ 8 ， ئېنىق ， مايسىز ； ئېقىمى ： ≥1L / min | ||||||
| تەۋسىيە قىلىندى forepump | 2 ~ 6 L / s | 3 ~ 8L / s | |||||
| ☑كونتروللىغۇچ پارامېتىرلىرى | |||||||
| كونتروللىغۇچ | EVFB-II | ||||||
| ئايلىنىش سۈرئەت | 48000rp | 36000rpm | |||||
| تۆۋەن سۈرئەت | 33600rp | 25200rpm | |||||
| باشلاش ۋاقىت | ≤5min | ||||||
| توك بېسىمى | 48VAC ± 2% | ||||||
| ئالاقە mode | RS-485 | ||||||
| Model | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| ☑The ۋاكۇئۇم پارامېتىرلىرى | |||||||
| Ultimate بېسىم (Pa) | <5x10-6 （LF） ； <5x10-7 （CF） | ||||||
| Pumping سۈرئەت (L / s) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | ||
| پىرىسلاش نىسبىتى | > 1x1011 | > 1x104 | > 1x1011 | > 1x104 | > 1x1010 | > 1x104 | |
| Maximumcontinuousinletpress ure (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| MaximumcontinuousForelinepressure (Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforelinepress uretolerance (Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑Physical پارامېتىر | |||||||
| Inlet flange | DN160 ISO-K （LF） ياكى CF | DN200 ISO-K （LF） 或 CF | DN250 ISO-K （LF） ياكى | ||||
| Foreline flange | DN25 ISO-KF ياكى KF40 (ئىختىيارىي) | DN40 ISO-KF ياكى KF50 (ئىختىيارى) | |||||
| تازىلاش flange | DN16 ISO-KF | ||||||
| تەۋسىيە قىلىندى forepump (L / s) | 4~ | 8~ | 16 ~ 2 | ||||
| ئېغىرلىقى（kg） | 20 ISO-K (LF) | 30 ISO-K (LF) | 40 ISO-K (LF) | ||||
| 23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
| تەۋرىنىش | ≤ | ||||||
| شاۋقۇن (dB) | ≤ | ||||||
| توشۇش | سىلىقلانغان ساپال توپنى مايلاش | ||||||
| مەشغۇلات ئورنى | ھەر قانداق | ||||||
| ماگنىتلىق field كۈچلۈكلۈك (mT) | ≤3 largest ئەڭ چوڭ 10mT custom خاسلاشتۇرۇشقا ئېھتىياجلىق） | ||||||
| Oper.ambient تېمپېراتۇرا | ھاۋا سوۋۇتۇش | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| سۇ سوۋۇتۇش | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Cooling water تەلەپ | سۇنىڭ تېمپېراتۇرىسى ： 15-25 ℃ ； بېسىم ： 0.15Mpa ； PH6 ~ 8 ， ئېنىق ， ماي ھەقسىز ； Flow ： .51.5L / min | ||||||
| ☑كونتروللىغۇچ پارامېتىرلىرى | |||||||
| كونتروللىغۇچ | EVFB-III-A | ||||||
| ئالاقە mode | RS-485 | ||||||
| توك بېسىمى（V） | 220V AC ± 10% | ||||||
| چاستوتىسى（Hz） | 50/60 ± 5% | ||||||
| ئەڭ چوڭ input قۇۋۋەت（W） | 100 | ||||||
| باشلاش / توختىتىش كونترول mode | كونتروللىغۇچ كۇنۇپكىلىرى كونترول باشلاش ۋە توختىتىش / RS485 كونتروللىغۇچنى باشلاش ۋە توختىتىش / DB15 كونترول باشلاش ۋە توختىتىش | ||||||
| قوغداش | كونتروللىغۇچ ھەددىدىن زىيادە ئېشىپ كېتىش ، ھەددىدىن زىيادە توك بېسىمى ، توك بېسىمى ، ئىسسىق ئۆتۈپ قېلىشتىن مۇداپىئەلىنىش ، مولېكۇلا پومپىسى ھەددىدىن زىيادە ئېشىپ كېتىش ، نورمىدىن ئاشۇرۇپ يۈك بېسىش ، ئىسسىق ئۆتۈپ قېلىشتىن ساقلىنىش قاتارلىقلار. | ||||||
| ئايلىنىش سۈرئەت (r / min) | 36000 ± 0.1% | 30000 ± 0.1% | 24000 ± 0.1% | ||||
| تۆۋەن سۈرئەت (r / min) | 25200 ± 0.1% | 21000 ± 0.1% | 16800 ± 0.1% | ||||
| نۆۋەتتىكى（A） | ≤0.6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| قوغداش fuse（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| باشلاش ۋاقتى（min） | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| چۈش ۋاقتى（min） | ~5 | ~ 10 | ~ 12 | ||||
ئومۇمىي ئۆلچەم
| Model | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100 LF | 130 | 253.5 | 180 | 170 | - | - |
| 100 CF. | 152 | 274.5 | 201 | 191 | 130.3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160 LF | 180 | 239.5 | 169.5 | 159.5 | - | - |
| 160 CF. | 202 | 238.5 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160 / 450D | 160 LF | 180 | 243 | 169.5 | 159.5 | - | - |
| 160 CF. | 202 | 242 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 |
| Model | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| EVFB-160/701 | 160CF | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 |
| EVFB-200/1400 | 200 LF | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| EVFB-200/1401 | 200CF | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 |
| EVFB-250/2200 | 250 LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| EVFB-250/2201 | 250CF | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
زاكاز قىلىش ئۇچۇر
| سان | مەھسۇلات model | مەھسۇلات كود | قوشۇمچە زاپچاسلار | زاكازسان | چۈشەندۈرۈڭ |
|
1 |
EVFB-100/301 (LF) |
A3123 | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3123 | ئۆلچەملىك پومپا （ھاۋا سوۋۇتۇش سۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش（Small flow） | A3123-A | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش （كىچىك ئېقىن） | |||
| سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى | A3123-B | ئۆلچەملىك پومپا + سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى air ھاۋا سوۋۇتۇلغان زاپچاسلارنى ئالماشتۇرۇش） | |||
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش （كىچىك ئېقىن） 、 سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى | A3123-C | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش （كىچىك ئېقىن） + سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى air ھاۋا سوۋۇتۇلغان زاپچاسلارنى ئالماشتۇرۇش） | |||
|
2 |
EVFB-100/301 (CF) |
A3124 | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3124 | ئۆلچەملىك پومپا （ھاۋا سوۋۇتۇش سۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش（Small flow） | A3124-A | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش （كىچىك ئېقىن） | |||
| سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى | A3124-B | ئۆلچەملىك پومپا + سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى air ھاۋا سوۋۇتۇلغان زاپچاسلارنى ئالماشتۇرۇش） | |||
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش （كىچىك ئېقىن） 、 سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى | A3124-C | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش （كىچىك ئېقىن） + سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى air ھاۋا سوۋۇتۇلغان زاپچاسلارنى ئالماشتۇرۇش） | |||
|
3 |
EVFB-160/401 (LF) |
A3127 | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3127 | ئۆلچەملىك پومپا （ھاۋا سوۋۇتۇش سۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش（Small flow） | A3127-A | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش （كىچىك ئېقىن） | |||
| سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى | A3127-B | ئۆلچەملىك پومپا + سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى air ھاۋا سوۋۇتۇلغان زاپچاسلارنى ئالماشتۇرۇش） | |||
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش （كىچىك ئېقىن） 、 سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى | A3127-C | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش （كىچىك ئېقىن） + سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى air ھاۋا سوۋۇتۇلغان زاپچاسلارنى ئالماشتۇرۇش） | |||
|
4 |
EVFB-160/401 (CF) |
A3128 | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3128 | ئۆلچەملىك پومپا （ھاۋا سوۋۇتۇش سۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش（Small flow） | A3128-A | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش （كىچىك ئېقىن） | |||
| سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى | A3128-B | ئۆلچەملىك پومپا + سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى air ھاۋا سوۋۇتۇلغان زاپچاسلارنى ئالماشتۇرۇش） | |||
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش | A3128-C | ئۆلچەملىك پومپا + تازىلاش كلاپانى |
| （كىچىك ئېقىن） 、 سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى | قوشۇمچە زاپچاسلار （كىچىك ئېقىن） + سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى (ئالماشتۇرۇشھاۋا سوۋۇتۇلغان زاپچاسلار） | ||||
|
5 |
EVFB-160 / 450D (LF) |
A3129 | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3129 | ئۆلچەملىك پومپا （ھاۋا سوۋۇتۇش سۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش（Small flow） | A3129-A | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش （كىچىك ئېقىن） | |||
| سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى | A3129-B | ئۆلچەملىك پومپا + سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى air ھاۋا سوۋۇتۇلغان زاپچاسلارنى ئالماشتۇرۇش） | |||
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش （كىچىك ئېقىن） 、 سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى | A3129-C | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش （كىچىك ئېقىن） + سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى air ھاۋا سوۋۇتۇلغان زاپچاسلارنى ئالماشتۇرۇش） | |||
|
6 |
EVFB-160 / 450D (CF) |
A3130 | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3130 | ئۆلچەملىك پومپا （ھاۋا سوۋۇتۇش سۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش（Small flow） | A3130-A | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش （كىچىك ئېقىن） | |||
| سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى | A3130-B | ئۆلچەملىك پومپا + سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى air ھاۋا سوۋۇتۇلغان زاپچاسلارنى ئالماشتۇرۇش） | |||
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش （كىچىك ئېقىن） 、 سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى | A3130-C | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش （كىچىك ئېقىن） + سۇ سوۋۇتۇش زاپچاسلىرى air ھاۋا سوۋۇتۇلغان زاپچاسلارنى ئالماشتۇرۇش） | |||
|
7 |
EVFB-160/701 (LF) |
A3139 | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3139 | ئۆلچەملىك پومپا （سۇ سوۋۇتۇشسۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش | A3139-A | ئۆلچەملىك پومپا + تازىلاش كلاپانىقوشۇمچە زاپچاسلار | |||
| مەستانىلەر زاپچاسلىرى | A3139-B | ئۆلچەملىك پومپا + فەن | |||
| كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش 、مەستانىلەر زاپچاسلىرى | A3139-C | ئۆلچەملىك پومپا + تازىلاش كلاپانىقوشۇمچە زاپچاسلار + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | |||
|
8 |
EVFB-160/701 (CF) |
A3140 | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3140 | ئۆلچەملىك پومپا （سۇ سوۋۇتۇشسۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش | A3140-A | ئۆلچەملىك پومپا + تازىلاش كلاپانىقوشۇمچە زاپچاسلار | |||
| مەستانىلەر زاپچاسلىرى | A3140-B | ئۆلچەملىك پومپا + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | |||
| كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش 、مەستانىلەر زاپچاسلىرى | A3140-C | ئۆلچەملىك پومپا + تازىلاش كلاپانىقوشۇمچە زاپچاسلار + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | |||
|
9 |
EVFB-200/1401 (LF) |
A3135 | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3135 | ئۆلچەملىك پومپا （سۇ سوۋۇتۇش سۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش | A3135-A | ئۆلچەملىك پومپا + تازىلاش كلاپانىقوشۇمچە زاپچاسلار | |||
| مەستانىلەر زاپچاسلىرى | A3135-B | ئۆلچەملىك پومپا + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | |||
| كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش 、 | A3135-C | ئۆلچەملىك پومپا + تازىلاش كلاپانى |
| مەستانىلەر زاپچاسلىرى | قوشۇمچە زاپچاسلار + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401 (CF) |
A3136 | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3136 | ئۆلچەملىك پومپا （سۇ سوۋۇتۇش سۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش | A3136-A | ئۆلچەملىك پومپا + تازىلاش كلاپانىقوشۇمچە زاپچاسلار | |||
| مەستانىلەر زاپچاسلىرى | A3136-B | ئۆلچەملىك پومپا + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | |||
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش、 | A3136-C | ئۆلچەملىك پومپا + تازىلاش كلاپانىقوشۇمچە زاپچاسلار + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | |||
|
11 |
EVFB-250/2201 (LF) |
A3141 | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3141 | ئۆلچەملىك پومپا （سۇ سوۋۇتۇش سۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش | A3141-A | ئۆلچەملىك پومپا + تازىلاش كلاپانىقوشۇمچە زاپچاسلار | |||
| مەستانىلەر زاپچاسلىرى | A3141-B | ئۆلچەملىك پومپا + فەن | |||
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش、 Fan components | A3141-C | ئۆلچەملىك پومپا + تازىلاش كلاپانىقوشۇمچە زاپچاسلار + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | |||
|
12 |
EVFB-250/2201 (CF) |
A3142 | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3142 | ئۆلچەملىك پومپا （سۇ سوۋۇتۇش سۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش | A3142-A | ئۆلچەملىك پومپا + تازىلاش كلاپانىقوشۇمچە زاپچاسلار | |||
| مەستانىلەر زاپچاسلىرى | A3142-B | ئۆلچەملىك پومپا + فەن | |||
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش、 | A3142-C | ئۆلچەملىك پومپا + تازىلاش كلاپانىقوشۇمچە زاپچاسلار + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | مولېكۇلا پومپىسى كونتروللىغۇچ EV EVFB- 100/301 molecular EVFB- 160/401 、 EVFB-100 / 450D molecular قاتارلىق مولېكۇلا پومپىسىغا ماس كېلىدۇ. |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | مولېكۇلا پومپىسى كونتروللىغۇچ EV EVFB- 160/701 molecular EVFB- 200/1401 、 EVFB- قاتارلىق مولېكۇلا پومپىسىغا ماس كېلىدۇ.250/2201） |
ئايرىلغان بىرىكمە مولېكۇلا پومپىسى
بۇ بىر يۈرۈش مەھسۇلاتلارنىڭ ئاساسلىق ئىقتىدارلىرى ：
（1） ئايرىم كونتروللىغۇچ ： AC220V توك بىلەن تەمىنلەش ， ئاچقۇچلۇق قوزغىتىش ；
（2 reliability يۇقىرى ئىشەنچلىك ： ئومۇمىي ئايلانما ， BLDC ھەيدەش تېخنىكىسى ；
.
（4 unction ئىقتىدارنىڭ كۆپ خىللىقى accessories قوشۇمچە زاپچاسلار ， خاسلاشتۇرۇلغان ھەل قىلىش چارىسى بار ；
（5 adjust تەڭشىگىلى بولىدىغان سۈرئەت ئىقتىدارى بىلەن تەمىنلەش a ھەر خىل پومپىنىڭ سۈرئىتىنىڭ تەلىپىنى قاندۇرۇش ； بۇ بىر يۈرۈش مەھسۇلاتلار ئاساسلىقى PVD ، CVD ، سۇيۇق كرىستال تەخسە ۋە باشقالارغا ماس كېلىدۇ.
سانائەت سىر ، ئىلمىي تەتقىقات ۋە باشقا ساھەلەر.
مولېكۇلا پومپىسىنىڭ تېخنىكىلىق پارامېتىرلىرى
| Model | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑The ۋاكۇئۇم پارامېتىرلىرى | ||||||||||
| Ultimatepressure (Pa) | <5x10-6 （LF） ； <5x10-7 （CF） | |||||||||
| Pumping سۈرئەت (L / s) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| Compressionratio | > 1x1011 | > 1x104 | > 1x1011 | > 1x104 | > 1x1010 | > 1x104 | > 1x108 | > 6x102 | > 1x108 | > 8x103 |
| ئەڭ چوڭ ئۈزلۈكسىز inletبېسىم (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0.05 | 0.02 | 0.03 | 0.01 |
| ئەڭ چوڭئۈزلۈكسىز Foreline | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| Maxforelinepressuretolerance (Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑Physical پارامېتىر | ||||||||||
| Inlet flange | DN160 ISO-K （LF） orCF | DN200 ISO-K （LF） orCF | DN250 ISO-K （LF） orCF | DN400 ISO-K （LF） orCF | DN400 ISO-K （LF） orCF | |||||
| Foreline flange | DN25 ISO-KF ，KF40 （ئىختىيارى） | DN40 ISO-KF ， KF50 ional ئىختىيارى） | DN100 ISO-K （LF） | DN100 ISO-K （LF）orKF50 ional ئىختىيارى） | ||||||
| تازىلاش flange | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| تەۋسىيە قىلىندى | 4 ~ 10 L / s | 8 ~ 16 L / s | 16 ~ 24 L / s | 30 ~ 70 L / s | ||||||
| ئېغىرلىقى（kg） | 20 ISO-K (LF) | 30 ISO-K (LF) | 40 ISO-K (LF) | ≈ 100 ISO-K (LF) | ≈ 83 ISO-K (LF) | |
| 23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (CF) | ||
| تەۋرىنىش | ≤ 0.05 | ≤ 0.3 | ||||
| شاۋقۇن (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| توشۇش | سىلىقلانغان ساپال توپنى مايلاش | ساپال توپ | ||||
| مەشغۇلات ئورنى | ھەر قانداق | ۋېرتىكال ± 5 ° | ||||
| Oper.Ambient ماگنىت مەيدانى | ≤ 3mT largest ئەڭ چوڭ 10mT custom خاسلاشتۇرۇشقا ئېھتىياجلىق） | ≤ 3mT | ||||
| مەشغۇلات.مۇھىت تېمپېراتۇرا | ھاۋا سوۋۇتۇش | 5 ~ 35oC | / | / | ||
| Watercooling | 5 ~ 40oC | |||||
| Cooling water تەلەپ | سۇنىڭ تېمپېراتۇرىسى ： 15-25 ℃ sure جەزملەشتۈرۈڭ ： 0.15Mpa ； ئېقىمى ≥ .5 1.5L / min | flow ≥ ≥ 3L / min | ||||
| ☑كونتروللىغۇچ پارامېتىرلىرى | ||||||
| ئايرىلدى كونتروللىغۇچ | EVFB-III-B （2U） | EVFB-VI （4U） | ||||
| Remote كونترول | ئۇلترا ئارىلىقنى كونترول قىلىش engine ئىنژېنېرلىرىمىز بىلەن مەسلىھەتلىشىڭ. | |||||
| ئالاقە mode | RS-485 | |||||
| توك بېسىمى（V） | 100 دىن 240VAC （± | 220VAC （± 10%） | ||||
| چاستوتىسى（Hz） | 50 / 60Hz ± 5% | |||||
| Maximuminputpower（W） | 1000 | 1500 | ||||
| باشلاش / توختىتىش كونترول mode | كونتروللىغۇچ كۇنۇپكىلىرى كونترول باشلاش ۋە توختىتىش / RS485 كونتروللىغۇچنى باشلاش ۋە توختىتىش / DB15 كونترول باشلاش ۋە توختىتىش | |||||
| قوغداش | كونتروللىغۇچ ھەددىدىن زىيادە ئېشىپ كېتىش ، ھەددىدىن زىيادە توك بېسىمى ، توك بېسىمى ، ئىسسىق ئۆتۈپ قېلىشتىن ساقلىنىش ، مولېكۇلا پومپىسى ھەددىدىن زىيادە ئېشىپ كېتىش ،نورمىدىن ئاشۇرۇپ يۈك بېسىش ، ئىسسىق ئۆتۈپ قېلىشتىن ساقلىنىش قاتارلىقلار | |||||
| ئايلىنىش سۈرئەت (r / min) | 36000 ± 0.1% | 30000 ± 0.1% | 24000 ± 0.1% | 13500 ± 0.1% | 16200 ± 0.1% | |
| تۆۋەن سۈرئەت (r / min) | 25200 ± 0.1% | 21000 ± 0.1% | 16800 ± 0.1% | / | ||
| نۆۋەتتىكى（A） | ≤ 0.6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| قوغداش fuse（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| باشلاش ۋاقىت（min） | ~5 | ~6 | ~7 | ~ 20 | ||
| چۈش ۋاقتى（min） | ~5 | ~ 10 | ~ 12 | ~ 30 | ||
| مەشغۇلات. مۇھىت شەرت | چىرىتكۈچى گاز ۋە روشەن چاڭ-توزان زەررىچىلىرى ； مۇھىت تېمپېراتۇرىسى ： -10 ℃ ~ 50 ℃ No مۇھىت يوقنەملىك ： ≤ 90% ， تەۋرىنىش كۈچلۈكلىكى ： ≤ 0.5g | |||||
0 ئومۇمىي ئۆلچەم
| Model | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| 160CF | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200 LF | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| 200CF | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250 LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| 250CF | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
EVFB-400/3600 Turbomolecular پومپىسى ئۆلچىمى
EVFB-400/4500 Turbomolecular پومپىسى ئۆلچىمى
ئايرىلغان كونتروللىغۇچنىڭ كۆرۈنۈشى
EVFB-III-B （2U） ئايرىلغان كونتروللىغۇچ
EVFB-VI （4U） ئايرىلغان كونتروللىغۇچ
زاكاز ئۇچۇر
| سان | مەھسۇلات model | مەھسۇلات كود | قوشۇمچە زاپچاسلار | زاكاز سان | چۈشەندۈرۈڭ |
|
1 |
EVFB-160/701 (LF) |
A3139-F | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3139-F | ئۆلچەملىك پومپا （سۇ سوۋۇتۇش سۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش | A3139-FA | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش | |||
| مەستانىلەر زاپچاسلىرى | A3139-FB | ئۆلچەملىك پومپا + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | |||
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش 、 شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | A3139-FC | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | |||
|
2 |
EVFB-160/701 (CF) |
A3140-F | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3140-F | ئۆلچەملىك پومپا （سۇ سوۋۇتۇش سۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش | A3140-FA | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش | |||
| مەستانىلەر زاپچاسلىرى | A3140-FB | ئۆلچەملىك پومپا + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | |||
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش 、 شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | A3140-FC | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | |||
|
3 |
EVFB-200/1401 (LF) |
A3135-F | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3135-F | ئۆلچەملىك پومپا （سۇ سوۋۇتۇش سۈكۈت بويىچە ئۆلچەملىك） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش | A3135-FA | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش | |||
| مەستانىلەر زاپچاسلىرى | A3135-FB | ئۆلچەملىك پومپا + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | |||
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش 、 شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | A3135-FC | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | |||
|
4 |
EVFB-200/1401 (CF) |
A3136-F | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3136-F | ئۆلچەملىك پومپا （سۇ سوۋۇتۇش سۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش | A3136-FA | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش | |||
| مەستانىلەر زاپچاسلىرى | A3136-FB | ئۆلچەملىك پومپا + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | |||
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش 、 شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | A3136-FC | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | |||
|
5 |
EVFB-250/2201 (LF) |
A3141-F | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3141-F | ئۆلچەملىك پومپا （سۇ سوۋۇتۇش سۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش | A3141-FA | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش | |||
| مەستانىلەر زاپچاسلىرى | A3141-FB | ئۆلچەملىك پومپا + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | |||
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش 、 شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | A3141-FC | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | |||
|
6 |
EVFB-250/2201 (CF) |
A3142-F | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3142-F | ئۆلچەملىك پومپا （سۇ سوۋۇتۇش سۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش | A3142-FA | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش | |||
| مەستانىلەر زاپچاسلىرى | A3142-FB | ئۆلچەملىك پومپا + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | |||
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش | A3142-FC | ئۆلچەملىك پومپا + تازىلاش كلاپانى |
| مەستانىلەر زاپچاسلىرى | قوشۇمچە زاپچاسلار + شامالدۇرغۇچ زاپچاسلىرى | ||||
| 7 | EVFB-400/3600 (LF) | A3187 | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3187 | ئۆلچەملىك پومپا （سۇ سوۋۇتۇش سۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| 8 | EVFB-400/3600 (CF) | A3188 | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3188 | ئۆلچەملىك پومپا （سۇ سوۋۇتۇش سۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
|
9 |
EVFB-400/4500 (LF) |
A3185 | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3185 | ئۆلچەملىك پومپا （سۇ سوۋۇتۇش سۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش | A3185-A | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش | |||
|
10 |
EVFB-400/4500 (CF) |
A3186 | ئۆلچەملىك مولېكۇلا پومپىسى | A3186 | ئۆلچەملىك پومپا （سۇ سوۋۇتۇش سۈكۈتتىكى ھالەتتە） |
| كلاپان قوشۇمچە زاپچاسلىرىنى تازىلاش | A3186-A | ئۆلچەملىك پومپا + كلاپان زاپچاسلىرىنى تازىلاش | |||
|
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
قول مەشغۇلات تاختىسى |
A3261-1 | خېرىدارلار ئىختىيارى EV EVFB- 160/701 molecular EVFB-200/1401 molecular EVFB-250/2201 قاتارلىق مولېكۇلا پومپىسىغا ماس كېلىدۇ. |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | ئايرىم كونتروللىغۇچ （4U） | A3270 | EVFB-400/3600 、 EVFB-400/450 قاتارلىق Turbo مولېكۇلا پومپىسىغا ماس كېلىدۇ |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | ئايرىم كونتروللىغۇچ U 2U） | A3264 | EVFB-160/701 、 EVFB- 200/1401 、 EVFB-250/2201 قاتارلىق مولېكۇلا پومپىسىغا ماس كېلىدۇ. (ئايرىلغان تىپ) |
