ئىسسىقلىق گازى ئاممىۋى ئېقىمى كونتروللىغۇچ (MFC)
Thermalgasmئېشەكfتۆۋەنmeter(MFM) isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressure, donot needthecompensationoftemperatureandpressure.
| Model | SQC-100 |
| ئېقىن دائىرىسى (N2) | 0 ～ 5，10，20，30 ， 50 ， 100 ， 200，500SCCM |
| 0 ～ 1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| ئېنىقلىق | ± 1 ％ FS (≤15SLM) ； ± 2 ％ FS (＞ 15SLM) |
| Valve Drive Type | نورمال تاقالغان |
| Linearity | ± 1 ％ FS (≤15SLM) ； ± 2 ％ FS (＞ 15SLM) |
| تەكرارلاش | ± 0.2 ％ FS |
| جاۋاب ۋاقتى | ≤1sec |
| كىرگۈزۈش / چىقىرىش سىگنالى | 0 ～ 5V |
| Electric Joint | DB15 pin (يىڭنە) |
| Operation Tem. | 5 ～ 45 ℃ |
| Differential Pre. | 0.05 ～ 0.5MPa （MFC） ； 0.03 ～ 3.0MPa （MFM） |
| Leak Rate | 1 × 10-8SCCS （He） |
| Max.بېسىم | 3MPa |
| ئوتتۇراھال ماتېرىيال | 316L SS ۋە پېچەتلەش ماتېرىيالى |
| پېچەتلەش ماتېرىيالى | ۋىتون ، كرېمنىي كاۋچۇك ، NBR ، تېفلون ، مېتال تامغا. |
| بىرلەشمە چوڭلۇقى | VCR 1/4 ”； Swagelok 1/8” 、 1/4 ”； φ3 、 φ6mm |
| توك بىلەن تەمىنلەش | + 15V ، 50mA ； -15V ، 200mA |
| Model | SQC-200 |
| ئېقىن دائىرىسى (N2) | MFC ： 0 ～ 20，30 ， 50 ， 100 ， 150 ， 200SLM |
| MFM ： 0 ～ 20 ， 30 ， 50，100 ， 150 ， 200 ， 250，300SLM | |
| ئېنىقلىق | ± 2 ％ FS |
| Valve Drive Type | نورمال تاقالغان |
| Linearity | ± 2 ％ FS |
| تەكرارلاش | ± 0.2 ％ FS |
| جاۋاب ۋاقتى | ≤5sec |
| كىرگۈزۈش / چىقىرىش سىگنالى | 1 ～ 5V ； 4 ～ 20mA |
| Electric Joint | DB15 pin (يىڭنە) |
| Operation Tem. | 5 ～ 45 ℃ |
| Differential Pre. | 0.1 ～ 0.3MPa （MFC） ； 0.05 ～ 3.0MPa （MFM） |
| Leak Rate | 1 × 10-8SCCS （He） |
| Max.بېسىم | 3MPa |
| ئوتتۇراھال ماتېرىيال | 316L SS ۋە پېچەتلەش ماتېرىيالى |
| پېچەتلەش ماتېرىيالى | ۋىتون ، كرېمنىي كاۋچۇك ، NBR ، ERP ، تېفلون |
| بىرلەشمە چوڭلۇقى | Swagelok 3/8 ”、 1/2” ； φ8 、 φ10 、 mm12mm |
| توك بىلەن تەمىنلەش | 24V, 0.5A |
ئۇچۇرىڭىزنى بۇ يەرگە يېزىڭ ۋە بىزگە ئەۋەتىڭ
