Termal qaz Kütləvi Axın Nəzarətçisi (MFC) Xüsusi Şəkil

Termal qaz kütlə axını tənzimləyicisi (MFC)

Qısa Təsvir:

Termal qaz kütlə axını tənzimləyicisi (MFC) yalnız kütləvi axın sayğacı funksiyasına malik deyil, həm də daha vacib olan qaz axınına avtomatik nəzarət edə bilər, yəni istifadəçi axını tələb kimi təyin edə bilər.MFC axını avtomatik olaraq təyin edilmiş dəyərə uyğunlaşdıracaq.Sistem təzyiqinin dəyişməsi və ya ətrafdakı temperaturun dəyişməsi halında belə müəyyən edilmiş dəyər dəyişməyəcək.Qısacası, kütləvi axın tənzimləyicisi axını sabit bir cihazdır, qaz axınına sabit bir cihazdır, əl ilə proqramlaşdırıla və ya avtomatik olaraq kompüter tərəfindən idarə oluna bilər.

Bizə e-poçt göndərin

Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

Thermyosunlarmeşşəkfaşağımeter(MFM)isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvalistifadə edirnotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressehtiyac yoxdurthecompensationoftemperatureandpressure.

Model	SQC-100
Axın diapazonları (N2)	0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
Axın diapazonları (N2)	0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Dəqiqlik	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Valf Sürücü Tipi	Normal Bağlıdır
Xəttilik	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Təkrarlanma qabiliyyəti	±0,2％FS
Cavab vaxtı	≤1san
Giriş/çıxış siqnalı	0～5V
Elektrikli birləşmə	DB15 pin (iynə)
Əməliyyat Tem.	5～45℃
Diferensial Pre.	0,05～0,5MPa （MFC）； 0,03～3,0MPa （MFM）
Sızma dərəcəsi	1×10-8SCCS （O）
Maks.Təzyiq	3MPa
Orta material	316L SS və sızdırmazlıq materialı
Sızdırmazlıq materialı	Viton, Silikon kauçuk, NBR, Teflon, Metal möhür.
Birgə ölçüsü	VCR 1/4”；Swagelok 1/8” 、1/4”；φ3、 φ6mm
Enerji təchizatı	+15V,50mA；-15V,200mA

Model	SQC-200
Axın diapazonları (N2)	MFC: 0～20，30，50，100，150， 200SLM
Axın diapazonları (N2)	MFM: 0～20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300SLM
Dəqiqlik	±2％FS
Valf Sürücü Tipi	Normal Bağlıdır
Xəttilik	±2％FS
Təkrarlanma qabiliyyəti	±0,2％FS
Cavab vaxtı	≤5san
Giriş/çıxış siqnalı	1～5V；4～20mA
Elektrikli birləşmə	DB15 pin (iynə)
Əməliyyat Tem.	5～45℃
Diferensial Pre.	0,1～0,3MPa（MFC）； 0,05～3,0MPa（MFM）
Sızma dərəcəsi	1×10-8SCCS （O）
Maks.Təzyiq	3MPa
Orta material	316L SS və sızdırmazlıq materialı
Sızdırmazlıq materialı	Viton, Silikon kauçuk, NBR, ERP, Teflon
Birgə ölçüsü	Swagelok 3/8” 、1/2”； φ8、φ10、φ12mm
Enerji təchizatı	24V, 0.5A