Контролор за проток на маса Мерач на проток на маса CS200
Карактеристики
1. Висока прецизност и брз одговор
Точноста на CS200 MFC е подобрена на ±1,0% од SP, а најнапредните модели имаат намалено време на одговор за помалку од 0,8 секунди.
2. Ниска нулта нанос и температурен коефициент
Пронајдокот на новата сензорска технологија му овозможува на CS200 MFC да одржува стабилност и да ги издржи температурните флуктуации.Без засилувач со автоматска нула, очекуваниот нулта дрифт е помал од 0,6%FS/година, а температурниот коефициент е помал од 0,02%FS/℃(нула), 0,05%FS/℃ (распон).
3. Метално запечатени модели и карактеристика со висока чистота
Патеката за влажен проток на линијата CS200 MFC е изградена од површински пасивиран нерѓосувачки челик.Сите CS200 MFC се собрани во ултрачистите чисти простории на Sevenstar од класа 100 во согласност со стандардите и SEMI и ISO 9001.
4. Компатибилни интерфејси
CS200 MFC е компатибилен со следните интерфејси, кои може да ги избере купувачот: ±8V-±16V двокрајно напојување и +14V-+28V еднокрајно напојување;влез и излез на дигитален или аналоген сигнал;SEMI стандардни механички димензии;и RS-485 или комуникациски модул DeviceNet.
5. Разни функции
Моќниот кориснички софтвер доаѓа стандардно со секој модел, додека дополнителни функции како што се повеќегасови, повеќе опсег, автоматско нула, аларми, мек старт и одложување се достапни како избор на клиентите.
Спецификација
| CS200 | |||||||
| Тип | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Опсег на целосен размер (N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |||||
| (0 ~ 1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Точност | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS? (＜35% FS) | ||||||
| Линеарност | ±0,5% FS | ||||||
| Повторливост | ±0,2% FS | ||||||
| Време на одговор | ≤1 сек | ≤0,8 сек. (SEMI E17-0600) | |||||
| Позиција за одмор на вентилот | Нормално затворено или | Нема вентил | Нормално затворено или | Нема вентил | Нормално затворено или | Нема вентил | |
| Нормално отворено (100 sccm≤FS≤5 slm) | Нормално отворено (100 sccm≤FS≤5 slm) | Нормално отворено (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Диференцијален притисок | 0,05 ~ 0,35 MPa (проток≤ 10 slm) | ＜0,02 MPa | (0,05-0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05-0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | |
| 0,1 ~ 0,35 MPa (10 slm ＜ Проток ≤ 30 slm) | (0,1-0,35) MPa (（＞10slm) | (0,1-0,35) MPa (（＞10slm) | |||||
| 0,2-0,45 MPa (проток) 30 slm) | |||||||
| Максимален работен притисок | 0,45 MPa | |||||
| Температура | Нула:≤±0,05% FS/℃; | Нула:≤±0,02% FS/℃;Распон:≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Коефициент | Распон: ≤±0,1% FS/℃ (Проток≤30 slm) | |||||
| Распон: ≤±0,2% FS/℃ (Проток> 30 slm) | ||||||
| Доказ притисок | 3 MPa (435 pisg) | |||||
| Нулта дрифт | ＜0,6% FS годишно без авто-нула | |||||
| Интегритет на истекување | 1×10-9 atm·cc / сек Тој | 1×10-10atm·cc / сек Тој | ||||
| Навлажнети материјали | Витон; | Метал? (Не'рѓосувачки челик V/V, 5Ra) | Метал | |||
| Површинска хемија | —— | Сооднос Cr/Fe ＞2,0;Дебелина на CrO ＞20 ангстроми | ||||
| Површинска завршница | 25 Ра | 10 Ра | 25 Ра | |||
| Работна температура | (5-45）℃ | (0,50）℃ | ||||
| Влезен сигнал | Дигитален: RS485 или ProfiBus | N/A | Дигитален: RS485 или ProfiBus или DeviceNetTM | N/A | Дигитален: RS485 или ProfiBus или DeviceNetTM | N/A |
| или DeviceNetTM | Аналогни: (0~5)VDC или (4~20)mA или (0~20)mA | Аналогни: (0~5)VDC или (4~20)mA?или (0~20)mA | |||||
| Аналогни: (0 ~ 5) VDC или (4 ~ 20) mA или (0 ~ 20) mA | |||||||
| Излезен сигнал | Дигитален: RS485 или DeviceNetTM или ProfiBus аналоген: (0~5)VDC или (4~20)mA или (0~20)mA | ||||||
| Напојување | ±8 ~ ± 16 VDC или +14 ~ +28 VDC (400 mA) | ||||||
| Електронски конектор | 9 пински машки под-D, 15 пински машки под-D ，DeviceNetTM,ProfiBus, аналоген | ||||||
| Фитинзи | VCR1/4" M; VCO1/4" M； | VCR1/4" М; | |||||
| Фитинг за компресијаΦ10; Компресија ФитингΦ6; | Фитинг за компресијаΦ6, | ||||||
| Фитинг за компресија 3/8”;Фитинг за компресија 1/4"; | Фитинг за компресијаΦ3, | ||||||
| Фитинг за компресија 1/8";Фитинг за компресијаΦ3; | Фитинг за компресија 1/4"; | ||||||
| Ф6(внатрешно)×1црево;ф5(внатрешно)×1,5црево;ф4(внатрешно)×1црево; | W-печат, | ||||||
| А-саел; | Ц-печат | ||||||
| Тежина | 1кг | 0,8 кг | 1,2 кг | 1кг | 1,2 кг | 1кг | |
